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廣州蘇盈電子科技-MEMS流量測量

熱式氣體質量流量計的起源是來自于熱線式風速計。鉑電熱絲的溫度與流體流速的變化有一個比例關系：流速越快

分子與加熱壁接觸完成熱傳導而帶走探針上的熱量。

流量儀表是能源計量儀表的重要組成部分，水、人工燃氣、、蒸汽和油品這些常用的能源都使用著數量極其龐大的流量計，它們是能源管理和經濟核算不可缺少的工具。

可測量：氣體、液體、蒸汽的流量計量，主要用于解決高粘度、低雷諾數流體的流量測量，先后經歷了氣動表和電動表兩大發(fā)展階段，SST和SBL這兩種智能靶式流量計是在原有應變片式靶式流量計測量原理的基礎上

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熱式質量流量計在測量氣體時流體溫度的變化也不像體積流量儀表隨氣體體積變化所改變，這對于熱式并不影響質量流量計的測量
它通常由空氣分離工藝制取，氣態(tài)高純氣體經管道或鋼瓶集裝格輸送給用戶，液態(tài)產品用槽車運輸給用戶。在用管道輸送高純氣體的流程中，貿易交接計量通常為氣體流量計，流量計的公稱通徑從50ｍｍ到幾百毫米。
熱分布式儀表使用口徑和流量均較小，較多應用于半導工業(yè)外延擴散、石油化工微型反應裝置、鍍膜工藝、光導纖維制造、熱處理淬火爐等各種場所的氫、氧、氨、燃氣等氣體流量控制




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熱式質量流量計在環(huán)境保護和工業(yè)中應用發(fā)展也比較多，熱式質量流量計一般在測量氣體的時候必須是干燥的氣體，不能含有濕氣，流體的可能產生的沉積，結垢以及凝結物均將影響儀表的性能，大多采用幾何檢定法進行檢定，操作簡單而且費用較省。有的供方（或需方）要求在經過幾何法檢定之后，再用實流檢定法檢定一次。實踐證明，如果１套流量計的各個環(huán)節(jié)都是合格的，則實流檢定結果也會是合格的。

采用了芯片Ⅱ級電容力式傳感器作為測量和敏感傳遞元件，同時利用了現代數字智能處理技術而研制的一種新式流量計量儀表。

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流體 可能 產生 的沉積 、結垢 和凝結 會影響 儀器 的性能 。 熱式 質量流量計 測量 氣體 時，流體 溫度 的變化 不像 體積 流量計 隨氣體體積的變化 而變化 ，不影響 熱式 質量流量計 的測量 。空氣流量計是將吸入 的空氣 流量 轉換成 電信號 的儀器 。 空氣流量計的優(yōu)點 是壓力 損失 小，可測 流量 范圍 大。 空氣流量計的 流量 與 流量 之比一般 在20 :1以上 ，適用 的工業(yè) 管徑 范圍 寬， 可達 3m，輸出 信號 與被測流量 線性 ，精度高 ，可測量 電導率 ≥1μs/cm 的酸、堿、鹽溶液 、水、污水 、腐蝕性 液體 和泥漿 、礦漿 的流體 流量 。 但是 空氣流量計不能測量 氣體 、蒸汽 和純凈水 的流量 。



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熱式質量流量計廣泛應用于環(huán)保和工業(yè)中。熱式質量流量計一般在測量氣體時必須是干燥的氣體，不能含有水分。

熱式氣體質量流量計在裝置時有很多事項需要注意。熱式氣體質量流量計的傳感器由兩個基準鉑電阻溫度傳感器組成，一個測量流量溫度，另一個保持高于溫度的恒溫差。

熱分布式 大部分熱分布式TMF的流量傳感器可任何姿勢（水平、 垂直或傾斜）安裝，有些儀表只要安裝好后在工作條件壓力、溫度下作電氣零點調整。然而有些型號儀表對安裝姿勢具有敏感性，大部分制造廠會對此就安裝姿勢影響和安裝要求作出說明。

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熱氣體質量流量計是利用熱傳導原理測量流量的儀器。該儀器通過恒溫差停止測量氣體的質量流量。熱氣體質量流量計有很多優(yōu)點。畢竟它們的體積比較小，裝置也很方便，測量也很準確。

氣體質量流量計是一種用于測量各種氣體流量的儀器，不僅具有測量精度高、穩(wěn)定性好的優(yōu)點，而且在長期使用中可以提高企業(yè)的使用成本，空氣流量計的流量與流量之比一般在20:1以上，適用的工業(yè)管徑范圍寬，可達3m，輸出信號與被測流量線性，精度高。

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熱分布式TMF可測量低流速（氣體0.02~2m/s）微小流量；浸入式TMF可測量低~中偏高流速(氣體2~60m/s)，插入式TMF更適合于大管徑。熱分布式儀表用于H2 、N2 、O2、CO 、NO等接近理想氣體的雙原子氣體，不必用這些氣體專門標定，直接就用空氣標定的儀表，實驗證明差別僅2%左右；用于Ar、He等單原子氣體則乘系數1.4即可；用于其他氣體可用比熱容換算，但偏差可能稍大些。氣體的比熱容會隨著壓力溫度而變，但在所使用的溫度壓力附近不大的變化可視為常數。熱式質量流量計響應慢。

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熱分布式儀表使用口徑和流量均較小，較多應用于半導工業(yè)外延擴散、石油化工微型反應裝置、鍍膜工藝、光導纖維制造、熱處理淬火爐等各種場所的氫、氧、氨、燃氣等氣體流量控制，以及固體致冷中固體蒸發(fā)等累積量和閥門制造中泄漏量的測量等。

通常在主流管道上裝孔板等節(jié)流裝置或均速管，分流部分氣體到流量傳感器進行測量。然而在低流速測量時因受管道內氣體對流的熱流影響，使安裝姿勢顯得重要。因此在低和非常低流速流動時要獲得測量大部分制造廠會對此就安裝姿勢影響和安裝要求作出說明。例如LDG-□DB系列為減少環(huán)境氣氛對流傳熱影響

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熱氣體質量流量計是利用熱傳導原理測量流量的儀器。該儀器通過恒溫差停止測量氣體的質量流量。因此介質溫度與介質的比熱是關鍵參數。流量計轉換器中儲存了60多種常規(guī)氣體比熱轉換系數，設置為基體單一潔凈氣體。但在現場實際測量中，介質純度并不那么高。雖然流量計的設計精度沒有下降，但測量值可能與實際值有一定的偏差，這也是為什么熱氣體質量流量計適合測量干氣體的原因；介質溫度是熱氣體質量流量計的一大難點。工作時，需要將加熱探頭加熱到比介質溫度高50度的狀態(tài)。