真空電弧真空離子鍍膜機的技術(shù)原理是在冷陰極真空弧光放電理論的基礎(chǔ)上研究出來的。而通過分析冷陰極真空弧光放電理論可知，通過放電活動中的“正離子電流機制”與“場電子發(fā)射機制”兩者間的相互影響與制約可實現(xiàn)電量遷移。那么于此放電活動中的陰極物料需要大量蒸發(fā)，活動產(chǎn)生的諸多蒸氣分子會生成一些正離子，這些離子能夠在陰極附近產(chǎn)生強電場，從而促進影響電子觸發(fā)“場電子發(fā)射機制”，最終導致電子發(fā)射到真空環(huán)境。