北京科儀創(chuàng)新真空技術有限公司主營：“真空箱式氦檢漏設備”,“LNG低溫容器抽真空設備”

氦質譜檢漏儀的主要配置

科儀產品主要有：薄膜制備設備，真空冶金設備，檢漏設備，真空系統(tǒng)等非標真空產品；系列分子泵，離子泵，鈦升華泵，深冷捕集泵等高真空獲得設備；系列干式渦旋泵，干式爪泵，干式螺桿泵等無油真空獲得設備；超高真空環(huán)境模擬設備等高新技術產品。今天科儀的小編就和大家分享一下氦質譜檢漏儀的主要配置有哪些，希望對您有所幫助！

1. 檢漏儀專用分子泵

2. 機械泵或者干泵

3. 定制檢漏儀專用電磁閥

4. 內置標準漏口

5. 放大器

6. 采用質譜專用模塊

以上是科儀為您一起分享的內容，科儀專業(yè)生產氦檢漏，歡迎新老客戶蒞臨。

氦質譜檢漏原理

氦質譜檢漏技術是以無色、無味的惰性氣體氦氣為示蹤介質、以磁質譜分析儀為檢測儀器，用于檢漏的一種檢測技術，它的檢漏靈敏度可達10-14～10-15Pa?m3/s，可以準確確定漏孔位置和漏率。氦質譜檢漏儀主要由質譜室、真空系統(tǒng)組件和電子學控制元件三大部分組成。質譜室接在分子泵的高真空端，入口接在分子泵和機械泵之間，利用分子泵對不同氣體具有不同壓縮比的特點，氦氣逆著分子泵的抽氣方向進入質譜室。檢漏儀在質譜室中將氣體電離,這些離子在加速電場的作用下進入磁場，在洛倫茲力作用下發(fā)生偏轉,由于不同荷質比的離子具有不同的電磁學特性，偏轉半徑各不相同，在擋板的作用下，氦檢漏儀的收集板只允許帶正電的氦離子被接收到，單位時間到達收集板的氦離子對應于一個電流信號，這個電流信號正比于進入到達收集板氦離子的數(shù)量，電流信號經過放大后顯示在質譜儀的顯示面板上，其大小反映了泄漏點的漏率，通過泄漏率大小來確定該位置泄漏程度的大小。

氦質譜檢漏儀的示蹤氣體選用氦氣,是因為氦氣具有以下優(yōu)良特性：

①氦氣在空氣中的含量少，體積含量為5.24×10-6，如果氦氣在環(huán)境中的含量超過標準，可以比較容易地探測到極微量的氦氣；

②氦分子小、質量輕、易擴散、易穿越漏孔、易于檢測也易于清除；

③氦離子荷質比小，易于進行質譜分析；

④氦氣是惰性氣體，化學性質穩(wěn)定，不會腐蝕和損傷任何設備；

⑤氦氣無毒，不凝結，極難容于水。

今天科儀小編和大家分享的是氦質譜檢漏的工作原理，希望對您有所幫助！

氦質譜檢漏儀的校準方法

(1) 漏率校準① 校準系統(tǒng)的組成

校準系統(tǒng)由標準漏孔、截止閥及需校準的氦質譜檢漏儀組成。

②示值誤差

通電預熱，待氦質譜檢漏儀啟動完成后，采用標準漏孔對氦質譜檢漏儀進行校準，將一經過校準的標準漏孔接入氦質譜檢漏儀系統(tǒng)，運行氦質譜檢漏儀，待漏率示值穩(wěn)定后，可以讀出標準漏孔漏率的氦質譜檢漏儀示值，同一標準漏孔測量三次，計算氦質譜檢漏儀示值平均值，從而得到標準漏孔漏率與氦質譜檢漏儀示值平均值的示值誤差。結束后，將其他量級的標準漏孔依次按此方法接入氦質譜檢漏儀系統(tǒng)進行測試，得到氦質譜檢漏儀在每一量級下漏率的示值誤差。

如果測試結果有較大編差，可以考慮氦質譜檢漏儀的自校功能，待完成后，再用標準漏孔進行測試。

③ 重復性

測量重復性是用實驗標準偏差表征的，本校準方法采用極差法來表征重復性。在示值誤差測量中，每一標準漏孔用氦質譜檢漏儀重復測量三次，可用公式(2)計算氦質譜檢漏儀在該漏率下的重復性。

今天和大家分享的是氦質譜檢漏儀的校準方法，如您想了解更多的產品信息，您可撥打圖片上的電話進行咨詢！