昆山熙日機械設(shè)備有限公司
主營產(chǎn)品: 愛德華真空泵維修, 萊寶真空泵油, 愛發(fā)科真空泵維修, 普發(fā)真空泵維修
愛德華IH1000真空泵維修愛德華真空泵保養(yǎng)昆山愛德華維修蘇州愛德華維修真空泵保養(yǎng)
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聯(lián)系人
張小力
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所在地區(qū)
江蘇省蘇州市
主營產(chǎn)品
iH 高真空干泵
我們的 iH 干泵為高難度的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品) 提供高度可靠、成本低廉的泵解決方案。iH 系列 具有五級主泵,使用創(chuàng)新的懸臂式轉(zhuǎn)子、爪式和羅茨 設(shè)計,可改善粉塵的處理,減少排氣噪音。此外,iH 系列泵配有一臺單級機械增壓泵和完全 封閉的水冷卻電機。
應(yīng)用
負(fù)載鎖定
轉(zhuǎn)換
計量
平版印刷
PVD 制程
PVD 預(yù)清潔
RTA
剝離/灰化
刻蝕
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
應(yīng)用
負(fù)載鎖定
轉(zhuǎn)換
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RTA
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刻蝕
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HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
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