技術規(guī)格

? 充裝氣體：氦氣

? 漏率范圍：一般在 10 -7 -10 -12 Pa·m 3 /s

? 示值允許偏差： ±15%

? 溫度補償：3%/℃

? 漏孔元件：玻璃滲透膜

? 抗堵塞能力：優(yōu)異

? 穩(wěn)定性：長時間內漏率穩(wěn)定

? 閥門：手動（選配）

? 接口：KF25/M14*1.5(內）或定制

? 出口：真空

? 氦室容積：150mL/200mL

? 充壓：不可自行充氣加壓

? 年衰減：（閥門常開）

10 -7 Pa·m 3 /s≤10%/y、10 -8 Pa·m 3 /s≤3%/y、

10 -9 Pa·m 3 /s≤1.5%/y、 10 -10 Pa·m 3 /s≤0.5%/y、

10 -11 Pa·m 3 /s≤0.3%/y 、10 -12 Pa·m 3 /s≤0.1%/y

應用

? 氦質譜檢漏儀校準

? 作為氦質譜檢漏儀內部標準漏孔

? 氦質譜檢漏儀最小可檢漏率校準

? 氦質譜檢漏有效最小可檢漏率校準

? 實際漏孔漏率的確定