工業(yè)去離子水，然后在進(jìn)入蒸發(fā)器頂部經(jīng)分水裝置，均勻地分布進(jìn)入蒸發(fā)列管，在蒸發(fā)列管內(nèi)形成薄膜狀的水流；這些水流因?yàn)楸∷院芸毂徽舭l(fā)。流量越大，進(jìn)料水量與蒸汽壓力相匹配，另外一效液位與進(jìn)料水流量應(yīng)聯(lián)鎖控制，多效蒸餾水機(jī)蒸餾水出水溫度自動(dòng)調(diào)節(jié)功能：當(dāng)蒸餾水的溫度高于92℃時(shí)，冷卻水開(kāi)啟，低于90℃時(shí)，冷卻水關(guān)閉，使出水溫度自動(dòng)穩(wěn)定，有條件應(yīng)使用調(diào)節(jié)閥，定時(shí)測(cè)定PH值，PH值在所1~2之間為正常；

具有蒸餾水機(jī)整機(jī)運(yùn)行和注射用水制備系統(tǒng)的聯(lián)動(dòng)控制功能，列管式多效蒸餾水機(jī)PLC可編程序控制，有工作狀況監(jiān)控，有可靠的在線質(zhì)量指標(biāo)檢測(cè)，自動(dòng)切換功能，出故障自動(dòng)停機(jī)，有記錄顯示打印功能等。
工業(yè)去離子水，然后在進(jìn)入蒸發(fā)器頂部經(jīng)分水裝置，均勻地分布進(jìn)入蒸發(fā)列管，在蒸發(fā)列管內(nèi)形成薄膜狀的水流；這些水流因?yàn)楸∷院芸毂徽舭l(fā)。流量越大，進(jìn)料水量與蒸汽壓力相匹配，另外一效液位與進(jìn)料水流量應(yīng)聯(lián)鎖控制，

水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)所規(guī)定的各項(xiàng)指標(biāo)應(yīng)該根據(jù)電子(微電子)元器件(或材料)的生產(chǎn)工藝而定(如普遍認(rèn)為造成電路性能破壞的顆粒物質(zhì)的尺寸為其線寬的1/5-1/10)，但由于微電子技術(shù)的復(fù)雜性和影響產(chǎn)品質(zhì)量的因素繁多，至今尚無(wú)一份由工藝試驗(yàn)得到的適用于某種電路生產(chǎn)的完整的水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)。不過(guò)近年來(lái)電子級(jí)水標(biāo)準(zhǔn)也在不斷地修訂，而且高純水分析領(lǐng)域的許多突破和發(fā)展，新的儀器和新分析方法的不斷應(yīng)用都為制水工藝的發(fā)展創(chuàng)造了條件。