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泰斯邁
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店齡4年 · 
企業(yè)認(rèn)證 · 
山東省青島市 
泰斯邁
主營(yíng)產(chǎn)品： 半導(dǎo)體設(shè)備
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刻蝕機(jī)NLD-570
價(jià)格
訂貨量(臺(tái))
￥2000000.00
≥1
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發(fā)貨地 山東省青島市
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商品參數(shù)
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商品介紹
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聯(lián)系方式
品牌 愛發(fā)科
NLD-57023 NLD-5701
NLD-5701 13
NLD-57025 NL2
NLD-5702 31
NLD-5703 NL21
商品介紹
產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
研究開發(fā)向NLD干法刻蝕設(shè)備NLD-570，是搭載了愛發(fā)科開創(chuàng)的磁性中性線（NLD- neutral loop discharge）等離子源的裝置，此NLD技術(shù)可實(shí)現(xiàn)產(chǎn)生低壓、低電子溫度、高密度的等離子。。
產(chǎn)品特性：
NLD用于與ICP方式相比更低壓、高密度、更低電子溫度等離子體的石英、玻璃、水晶、LN/LT基板的加工
? 高硬玻璃、硼硅酸玻璃等不純物的多種玻璃加工，在形狀或表面平滑性方面有優(yōu)異的刻蝕性能
? 石英及玻璃作為厚膜resist mask時(shí)的也可實(shí)現(xiàn)深度刻蝕（100μ m以上）
? 可實(shí)現(xiàn)高速刻蝕（石英＞1μ m/min、Pyrex＞0.8μ m/min）
? 可追加cassette室
產(chǎn)品應(yīng)用：
? 光學(xué)器件（光衍射格子、変調(diào)器、光開關(guān)等等）、凹凸型微透鏡
? 流體路徑作成或光子學(xué)結(jié)晶
研究開發(fā)向NLD干法刻蝕設(shè)備NLD-570，是搭載了愛發(fā)科開創(chuàng)的磁性中性線（NLD- neutral loop discharge）等離子源的裝置，此NLD技術(shù)可實(shí)現(xiàn)產(chǎn)生低壓、低電子溫度、高密度的等離子。。
產(chǎn)品特性：
NLD用于與ICP方式相比更低壓、高密度、更低電子溫度等離子體的石英、玻璃、水晶、LN/LT基板的加工
? 高硬玻璃、硼硅酸玻璃等不純物的多種玻璃加工，在形狀或表面平滑性方面有優(yōu)異的刻蝕性能
? 石英及玻璃作為厚膜resist mask時(shí)的也可實(shí)現(xiàn)深度刻蝕（100μ m以上）
? 可實(shí)現(xiàn)高速刻蝕（石英＞1μ m/min、Pyrex＞0.8μ m/min）
? 可追加cassette室
產(chǎn)品應(yīng)用：
? 光學(xué)器件（光衍射格子、変調(diào)器、光開關(guān)等等）、凹凸型微透鏡
? 流體路徑作成或光子學(xué)結(jié)晶
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公司名稱 泰斯邁
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地址 山東省青島市
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