FLY2000導(dǎo)電粒子顯微鏡

主要特點(diǎn)：                                      

1．光學(xué)系統(tǒng)

采用無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng)，可適用各種無限遠(yuǎn)物鏡，標(biāo)準(zhǔn)配置為60mmNIKON物鏡，螺紋接口為M25×0.75,標(biāo)準(zhǔn)配置雙目頭和三目頭選用NIKON品牌

可配置45mm,及95mm物鏡(配對(duì)應(yīng)的轉(zhuǎn)接環(huán))；

可配置其它品牌雙目頭和三目頭；

2．具備上下兩套調(diào)焦系統(tǒng)，可觀察較高較厚樣品；

上調(diào)焦行程為50mm;

下調(diào)焦行程為14mm；

調(diào)焦系統(tǒng)充分考慮了人機(jī)工程，使用低位操作；另外在下調(diào)焦系統(tǒng)增加了減力結(jié)構(gòu)，使用輕松；

3．配置8寸快速移動(dòng)大平臺(tái)，方便快捷；

8寸快速移動(dòng)平臺(tái)是仿OLYMPUS的12寸平臺(tái)設(shè)計(jì)，使用軟軸控制，可同時(shí)實(shí)現(xiàn)快速移動(dòng)及微小調(diào)整；

平臺(tái)采用數(shù)控機(jī)床加工，充分精度；

平臺(tái)可加載在光機(jī)臺(tái)上；

平臺(tái)表面采用石墨處理，耐磨性好；

平臺(tái)玻璃可調(diào)整平整度；

4．配置偏振系統(tǒng)及微分干涉系統(tǒng)，可實(shí)現(xiàn)COG中粒子及爆破檢測，可實(shí)現(xiàn)TAB檢測；

具備起偏器和檢偏器，可做偏光檢測，在半導(dǎo)體和PCB檢測中，可雜光，細(xì)節(jié)更清楚；

可加載微分干涉器，實(shí)現(xiàn)微分干涉觀察，在COG中，可清晰觀察3-5um的粒子；整個(gè)市場干涉色彩均勻；

5．可配置落射照明和照明；

落射照明和照明均采用國際先進(jìn)的LED照明，使用國際知名LED品牌。LED照明發(fā)熱小，壽命長，無需經(jīng)常更換燈泡等。

技術(shù)參數(shù)