似空科學(xué)儀器(上海)有限公司
主營產(chǎn)品: 體視顯微鏡,芯片開封機(jī),研磨拋光機(jī),影像測量儀,超聲波顯微鏡,三坐標(biāo)測量儀
場發(fā)射掃描電鏡熱場式-SU5000
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經(jīng)營模式
經(jīng)營批發(fā)
所在地區(qū)
上海市
特色
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高性能電子光學(xué)系統(tǒng) ● 二次電子分辨率: 頂位二次電子探測器(2.0 nm at 1kV)* ● 高靈敏度: PD-BSD, 的低加速電壓性能,低至100 V成像 ● 大束流(>200 nA): 便于微區(qū)分析
性能優(yōu)異 ● 壓力可變: 具有優(yōu)異的低真空(10 -300 Pa)成像性能,配備高靈敏度低真空探測器(UVD)* ● 開倉室快速簡單換樣(樣品尺寸: Φ 200 mm x 80 mmH) ● 微區(qū)分析: EDS, WDS, EBSD等等 *: 選配附件
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規(guī)格 |
項目 | 內(nèi)容 | |
分辨率 | 1.2 nm 30 kV 3.0 nm 1 kV 2.0 nm 1 kV 減速模式*1 3.0 nm 15 kV 低真空模式*2 | |
放大倍率 | 10 - 600, 000× (底片倍率), 18 - 1,000, 000× (800 × 600 像素) 30 - 1,500, 000× (1,280 × 960 像素) | |
電子光學(xué)系統(tǒng) | 電子 | ZrO /W 肖特基式電子 |
加速電壓 | 0.5 - 30 kV (0.1 kV 步進(jìn)) | |
著陸電壓 | 減速模式: 0.1 - 2.0 kV *1 | |
束流 | > 200 nA | |
探測器 | 低位二次電子探測器 | |
低真空模式*2 | 真空范圍: 10 - 300 Pa | |
馬達(dá)臺 | 馬達(dá)臺控制 | 5 - 軸自動 (優(yōu)中心) |
可動范圍 | X:0~100mm Y:0~50mm Z:3~65mm T:-20~90° R:360° | |
樣品尺寸 | 直徑: 200 mm 高度: 80 mm | |
選配探測器 |
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*1: 減速功能(包含高分辨率頂位二次電子探測器) *2: 低真空功能(包含5分割半導(dǎo)體探測器) *3: 空壓機(jī)(本地采購) | |
應(yīng)用案例 | |
樣品: 粉末
| 樣品: PTFE |