北京科儀創(chuàng)新真空技術有限公司
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空調(diào)氦檢漏設備-科儀創(chuàng)新
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氦質譜檢漏儀的工作原理
今天科儀的小編和大家分享的是氦質譜檢漏儀的工作原理,希望對您有所幫助!
氦質譜檢漏儀是一種以氦氣作為示漏氣體專門用于檢漏的質譜分析儀器。其基本工作原理是采集被檢件中的氣體樣品并將其電離,根據(jù)不同種類氣體離子質荷比不同的特點,利用磁偏轉分離原理將其區(qū)分開來。儀器對其示漏氣體氦氣有響應信號,而對其他氣體沒有響應,從而檢漏。
什么是氦質譜檢漏儀
氦質譜檢漏儀品牌淺析什么是氦質譜檢漏儀
氦質譜檢漏儀可靠的品質保證廣泛的市場應用,此款氦質譜檢漏儀適用于工業(yè)、分析研究、鍍膜市場等。此款氦質譜檢漏儀堅固耐用,抗震性能極強,可反復使用數(shù)年仍保證的檢漏漏率。氦質譜檢漏儀緊湊的設計適合串列生產(chǎn)和持續(xù)工作。氦質譜檢漏儀主要特點:前級泵配備抽速高達15 m3/h 旋片泵,對氦氣抽速可達 2.5l/s,氦質譜檢漏儀 ASM 340 對氦氣的蕞小檢測漏率:
真空模式:5 · 10-13 Pa m3/s
吸槍的模式:5 · 10-10 Pa m3/s
以上內(nèi)容由科儀為您提供,今天我們來分享的是氦質譜檢漏儀的相關內(nèi)容,希望對您有所幫助!
用氦氣作為氦質譜檢漏氣體的原因
選擇示漏氣體(示蹤氣體)的原則是:它在空氣中及真空系統(tǒng)中的含量低;檢漏儀對示漏氣體的靈敏度高;它不會對人員、環(huán)境、被檢件及檢漏儀造成污染、傷害和安全隱患;價格低。
質譜檢漏儀通常選擇氦氣作示蹤氣體,主要原因如下:
1、氦在空氣中及真空系統(tǒng)殘余氣體中的含量極1少(在空氣中約含5.2ppm),在材料出氣中也很少,因此本底壓力小,輸出的本底電流也小。正因為本底小,由某些原因引起本底的波動,亦即本底噪聲也就小,因此微小漏率也就能反應出來,靈敏度高。
2、氦的質量?。ㄏ鄬Ψ肿淤|量為4),易于穿過漏孔。這樣,氦較除氫以外的其他氣體通過同一漏孔的漏率就大,容易發(fā)現(xiàn),靈敏度高。
3、氦是惰性氣體,不與被檢件器壁起化學反應,不會污染被檢件,使用安全。
4、在氦兩側的是氫(質荷比為2)和雙電荷原子碳(質荷比為6),質荷比都與氦相差較大。這樣,它們在分析器中的偏轉半徑相差也大,容易分開,定標找氦峰時,不易受其他離子的干擾,因此就降低了對分析器制造精度的要求,易于加工。同時,分析器出口電極及離子源加速極的隙縫也可以加大,使更多的氦離子通過,提高了儀器靈敏度。
5、氦在被檢件及真空系統(tǒng)中不易被吸附。這樣檢出一個漏孔可以使氦信號迅速消失以便繼續(xù)進行檢漏,提高了儀器的檢漏效率。
6.氫氣有些性能(如質量小、易通過漏孔)比氦還好,然而由于氫一方面有易1爆危險,另一方面在油擴散泵中,由于油受熱裂解會產(chǎn)生大量的碳和氫,使氫本底極高且波動大,以致靈敏度大大降低,所以很少采用。
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