人們早采用射頻探針技術(shù)與今天的工具是很不相同的，早期探針使用了由一個很短的線極尖（wire TIp）而逐漸收斂的50-Ω微帶線，通過探針基片上一個小孔而與被測器件（DUT）的壓點(diǎn)（pad）相接觸。此時，其技術(shù)難度在于如何突破4GHz時實(shí)現(xiàn)可重復(fù)測量。雖然有可能通過校準(zhǔn)過程來剔除一個接觸線極尖相對較大的串聯(lián)電感的影響，但當(dāng)圓晶片的夾具被移動時，線極尖的輻射阻抗會有較大的變化。高頻測量使用的極尖設(shè)計與用于直流和低頻測量的極尖不同，而且必須使50-Ω環(huán)境盡可能地接近于DUT壓點(diǎn)。
村田探針主要與帶開關(guān)的高頻同軸連接器和高頻同軸連接器相匹配來測試使用。不同型號的高頻同軸連接器對應(yīng)的村田探針型號也不相同，不同的排列方式也有不同體積的探針選擇。

村田電纜探針主要用于實(shí)驗(yàn)室評估。就是把探針與SMA接口延長了，在中間加了一斷細(xì)軟射頻線，長度通常為300mm，測量射頻電纜裝配探針。配合完成后，探針可憑借與連接器接觸點(diǎn)上的夾爪自行站立，配合完成后對探針施加的任何壓力都可能導(dǎo)致探針脫落，連接受損或電級剝離。需要細(xì)心使用測試。
常用型號有MXHS83QE3000,MXHQ87WJ3000,MXHQ87WA3000,MXHQ87PA3000,MXHQ87PK3000，
MXHQ87PP3000,MXHQ87PN3000等。

村田探針主要有這幾種類型：村田無電纜探針，村田電纜探針，無浮動機(jī)構(gòu)的自動探針，帶浮動機(jī)構(gòu)的自動探針，自動探針（無張力型），校準(zhǔn)適配器。

村田校準(zhǔn)適配器用于探針的校準(zhǔn)。適配器一側(cè)帶有SMA接頭，另一側(cè)匹配村田連接器形狀，可以連接網(wǎng)絡(luò)分析儀和相應(yīng)探針進(jìn)行校準(zhǔn)。常用型號有MM126312,MM126712等。
為了探測電路性能，我們需要把信號傳導(dǎo)到某類傳輸線上， 這意味著我們需要至少兩個導(dǎo)體，即“信號導(dǎo)體”和“地導(dǎo)體”。除了以上基本的GSG, GS, SG類型的探針，還有各種組合，如GSGSG，GSSG，SGS等等。探針本身需要很好的匹配內(nèi)部不同傳輸媒介的特征阻抗，要求保證在不同傳輸模式下電磁能量的傳輸。