北京科創(chuàng)鼎新真空技術(shù)有限公司
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進口氦質(zhì)譜檢漏儀-科創(chuàng)真空-國產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀定制
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氦質(zhì)譜檢漏儀的結(jié)構(gòu)和工作原理
氦質(zhì)譜檢漏儀是180°磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計,其基本原理是根據(jù)離子在磁場中運動時,不同質(zhì)荷比的離子具有不同的偏轉(zhuǎn)半徑來實現(xiàn)不同種類離子的分離。檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)及電氣控制部分組成。檢漏工作時先打開抽空閥前級泵對檢漏接口抽真空,當真空度P1 優(yōu)于200 Pa 時,打開入口閥1、2,關(guān)閉抽空閥,氦氣將逆著分子泵的抽氣方向進入質(zhì)譜室中被檢測出來,此時檢漏儀的較小可檢漏率為10- 10 Pa·m3/s。前級泵繼續(xù)對檢漏接口抽真空,當P1降至20 Pa 時,入口閥2 關(guān)閉,入口閥3 打開,分子泵的高抽速用于抽空試件,檢漏儀的反應(yīng)時間縮短,此時檢漏儀的較小可檢漏率為10- 12 Pa·m3/s。
科創(chuàng)真空擁有先進的技術(shù),我們都以質(zhì)量為本,信譽高,我們竭誠歡迎廣大的顧客來公司洽談業(yè)務(wù)。如果您對氦檢漏感興趣,歡迎點擊左右兩側(cè)的在線客服,或撥打咨詢電話。
氦氣檢漏儀的工作原理是什么?
主要有離子源、分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計組成,離子源是氣體電離,形成一束具有特定能量的離子,分析器是一個均勻的磁場空間,不同離子的質(zhì)荷比不同;在磁場中就會按照不同軌道半徑運動而進行分離,再設(shè)計時只讓氦離子飛出分析器的縫隙;打在收集器上,收集放大器收集氦離子流并出入到電流放大器,通過測量離子流就可知漏率。
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氦質(zhì)譜檢漏儀主要部件---真空泵的概述與分類
真空泵(vacuum pump)
利用機械、物理、化學(xué)、物理化學(xué)等方法對容器進行抽氣,以獲得和維持真空的裝置。真空泵和其他設(shè)備(如真空容器、真空閥、真空測量儀表、連接管路等)組成真空系統(tǒng),廣泛應(yīng)用于電子、冶金、化工、食品、機械、、航天等部門。
按其工作原理,基本上分為氣體輸送泵和氣體捕集泵兩種類型。
氣體輸送泵包括:1、液環(huán)真空泵(水環(huán)真空泵)2、往復(fù)式真空泵3、旋片式真空泵4、定片式真空泵5、滑閥式真空泵6、余擺線真空泵7、干式真空泵8、羅茨真空泵9、分子真空泵10、牽引分子泵11、復(fù)合式真空泵12、水噴射真空泵13、氣體噴射泵14、蒸汽噴射泵15、擴散泵等
氣體捕集泵包括:吸附泵和低溫泵等。
目前工業(yè)中應(yīng)用較多的是水環(huán)式真空泵和旋片式真空泵等。
W型往復(fù)式真空泵( Model W Piston Vacuum Pump )是獲得粗真空的主要真空設(shè)備之一。廣泛應(yīng)用于化工,食品,建材等部門,特別是在真空結(jié)晶,干燥,過濾,蒸發(fā)等工藝過程中更為適宜。
2X型旋片式真空泵( Model 2X Sliding Vane Rotary Vacuum Pump )
用來抽除密閉容器的氣體的基本設(shè)備之一。它可以單獨使用,也可作為增壓泵、擴散泵、分子泵的前級泵使用。該型泵廣泛應(yīng)用于冶金、機械、電子、化工、石油、等行業(yè)的真空冶煉、真空鍍膜、真空熱處理,真空干燥等工藝過程中。
2XZ型旋片式真空泵( Model2XZ Sliding Vane Rotary Vacuum Pump )
具有結(jié)構(gòu)緊湊,體積小,重量輕,噪音低,振動小等優(yōu)點。所以,它適用于作擴散泵的前級泵,而且更適用于精密儀器配套和實驗室使用。例如:質(zhì)譜儀器,冰箱流水線,真空冷凍干燥機等。
XD型旋片式真空泵( Model XD Sliding Vane Rotary Vacuum Pump )