1．將氣壓表擰入設(shè)備左側(cè)過(guò)濾器螺孔中。插上電源，氣管接頭插入氣源；
2．打開電源開關(guān)和溫控開關(guān)，將溫度設(shè)定于55℃（不同晶片膜溫差異士5℃）；

設(shè)置給定值：在基本顯示狀態(tài)下可以通過(guò)按∧，∨，＜鍵來(lái)修改下顯示窗口顯示的設(shè)定溫度控制值。按∨鍵減小數(shù)據(jù)，按∧鍵增加數(shù)據(jù)，可修改數(shù)值位的小數(shù)點(diǎn)同時(shí)閃動(dòng)（如同光標(biāo)）。長(zhǎng)按并保持不放可以快速地增加/減少數(shù)值，并且速度會(huì)隨小數(shù)點(diǎn)右移自動(dòng)加快（2級(jí)速度）。而按＜鍵則可直接移動(dòng)修改數(shù)據(jù)的位置（光標(biāo)），按∧或∨鍵可修改閃動(dòng)位置的數(shù)值，操作快捷。
3．通氣后上壓盤自動(dòng)回到最上方，按下氣缸下按鈕，下壓盤回至最下方（反復(fù)幾次下氣缸動(dòng)作，將上升速度調(diào)整至適合速度）
4．松開鎖扣，掀起上工件板，先將擴(kuò)晶環(huán)內(nèi)環(huán)放于下壓模上，再將粘有晶片的翻晶膜放于下工件正中央，晶片朝上，將上工件板蓋上，鎖緊鎖扣。
5．按下氣缸上按鈕，下壓盤徐徐上升，薄膜開始向四周擴(kuò)散，晶粒間隔逐漸拉大，當(dāng)晶片間隔擴(kuò)散至原來(lái)的2~3倍時(shí)既停止上升，將擴(kuò)晶環(huán)外環(huán)圓角朝下平放在薄膜與內(nèi)環(huán)正上方。
6．按上氣缸按鈕（始終按壓）上壓盤下降，將擴(kuò)晶環(huán)壓合后，松開按鈕上壓盤自動(dòng)回至最上方。
7．按下氣缸下按鈕，下壓盤下降至最下方，取出擴(kuò)晶完畢的翻晶膜，修剪多余膜面，送下工序備膠固晶。

8．調(diào)節(jié)行程螺母在設(shè)備后面最下部開孔處，調(diào)節(jié)好后請(qǐng)緊固鎖緊螺母。

9．上氣缸速度調(diào)節(jié)閥在氣缸上下部。下氣缸速度調(diào)節(jié)閥在設(shè)備后部小方孔處。