工廠 二手日本光馳1300-OTFC鍍膜機帶射頻源

工廠低價轉(zhuǎn)讓2臺進口日本OTFC-1300CBI/DBI光學真空鍍膜機

真空室 SUS304, φ1300mm×1920mm (H)

工件架 φ1600mm

工件架轉(zhuǎn)速 10rpm to 30rpm(可變)

光學膜厚控制 HOM2-R-VIS350A光學膜厚監(jiān)控儀

波長范圍：350nm to 1100nm

反射式或透射式

石英晶振膜厚計 XTC/3+6點式石英晶體傳感器

蒸發(fā)源 電子槍2套

離子源 23cmRF離子源

排氣系統(tǒng) 機械泵+2個擴散泵+Polycold（或2個冷凝泵）

達到壓力 7.0×10-5 Pa 以下

排氣時間 20分（大氣壓～1.3×10-3 Pa)

基板溫度 ：350℃

特點：

OTFC系列是用于生產(chǎn)紅外截止濾光片、分色濾光片等成膜的真空鍍膜裝置。

真空室尺寸：Φ600-1800mm

60點/80點式光學膜厚監(jiān)控使用均勻分布的高離子電流密度的離子源

搭載雙電子槍，多點和環(huán)型坩堝可鍍100層以上

利用自動蒸鍍控制系統(tǒng)實現(xiàn)全自動蒸鍍過程