氣動(dòng)式位移傳感器采用壓縮空氣充氣驅(qū)動(dòng)，泄氣自行回彈的方式。具有高性能，高精度，高穩(wěn)定性等特點(diǎn)。量程2~10mm可選，重復(fù)精度達(dá)到0.1μm，出線方式有直出和側(cè)出等。對(duì)于對(duì)測(cè)量力有要求的被測(cè)物體，例如玻璃，塑料，薄膜，晶片等等，可以選用氣動(dòng)超輕接觸式位移傳感器，避免對(duì)被測(cè)物體的二次傷損。氣動(dòng)式超輕接觸位移傳感器DP-S4VAL位移量程 4mm、氣動(dòng)超輕接觸式側(cè)出線、外徑φ8mm、重復(fù)精度0.1μm