安徽 半導(dǎo)體特氣工程 氣路氣體管路改造安裝施工 飛世爾

實驗室氣路改造集中系統(tǒng)主要從安全、經(jīng)濟、純度三個方面來綜合設(shè)計：
1. 安全: 鋼瓶(氣瓶)應(yīng)被放置在工作區(qū)外的安全區(qū)域，在緊急情況下，操作人員可以通過遠程切斷系統(tǒng)，切斷氣體供應(yīng)；氣瓶間的鋼瓶儲存應(yīng)設(shè)置好安全間距，并做好通風(fēng)系統(tǒng)裝修。
2．經(jīng)濟和純度: 使用不同的氣體都有各自的獨立供應(yīng)點，確保鋼瓶的管理數(shù)量不必太多，減少運輸費用和空瓶的余氣損耗；同時減少鋼瓶的更換頻率，降低雜質(zhì)進入的概率。