真空系統(tǒng)主要部件1.旋片式真空泵轉(zhuǎn)子以一定的偏心裝在泵殼內(nèi)并與泵殼內(nèi)表面的固定面靠近，在轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有兩個(gè)（或兩個(gè)以上）旋片。當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí)，旋片能沿其徑向槽往復(fù)滑動且與泵殼內(nèi)壁始終接觸。旋片隨轉(zhuǎn)子一起旋轉(zhuǎn)，可將泵腔分成幾個(gè)可變?nèi)莘e。它是利用油類密封各運(yùn)動部件之間的間隙，減少有害空間的一種旋轉(zhuǎn)變?nèi)菡婵毡?。這種泵通常帶有氣鎮(zhèn)裝置，故又稱氣鎮(zhèn)式真空泵。圖1油泵系列2.羅茨泵也叫機(jī)械增壓泵，是一種旋轉(zhuǎn)式容積真空泵，二個(gè)8字型轉(zhuǎn)子與泵腔保持一定的間隙，通過一對同步反向旋轉(zhuǎn)齒輪使二個(gè)轉(zhuǎn)子在泵腔內(nèi)旋轉(zhuǎn)時(shí)互相不接觸并保持一定間隙。羅茨泵工作時(shí)，由于轉(zhuǎn)子和泵腔、轉(zhuǎn)子和轉(zhuǎn)子之間有一定的間隙（0.1-0.15），互相不接觸，允許轉(zhuǎn)子高速轉(zhuǎn)動，具有很大的抽速。但一般不能直接抽大氣壓。部分*的泵由于的設(shè)計(jì)，可以在大氣壓下啟動。但出于對泵的保護(hù)，一般還是采用延時(shí)啟動。圖2 羅茨泵系列3.真空測量裝置真空規(guī)管（電阻式真空計(jì)），屬于皮拉尼（Pirani)真空計(jì)，可以直接輸出2-10V的直流電壓。通過其電路設(shè)計(jì)和程序確定，確保輸出的直流電壓和真空度指示值一一對應(yīng)，在觸摸屏直接顯示出真空度的讀數(shù)?，F(xiàn)在觸摸屏能顯示的讀數(shù)為0.1-999.9Pa。另外，該規(guī)管既能承受負(fù)壓力也能承受正壓力。

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