有二氮化二鈦(Ti2N2)和四氮化三鈦(Ti3N4)兩種。二氮化二鈦為黃色固體。溶于煮沸的王水。遇到熱的則有氨放出。四氮化三鈦的性質(zhì)與二氮化二鈦相似。

【制備或來源】可由鈦和氮在1200℃直接反應(yīng)制得。涂層可由、氮?dú)狻錃饣旌蠚怏w通過氣相沉積法形成。二氮化二鈦由金屬鈦在900～1000℃的氮或氨中加熱而得。四氮三鈦由在1000℃的氨中加熱而得。

PVD技術(shù)無法克服因表面粗糙度高引起的陰影效應(yīng)，從而使得制備的膜層受基體本身的影響較大，均勻性不好，致密性也很差，因此制備膜層的基體表面必須盡可能平整、光滑。另外，摻雜原子的添加也可優(yōu)化涂層的顯微組織結(jié)構(gòu)，提高耐蝕性。

消除膜層表面缺陷的另外一類技術(shù)就是沉積多層復(fù)合膜，通過復(fù)合膜層的匹配增加膜層厚度，消除通孔等結(jié)構(gòu)缺陷。這一類體系的膜層有金屬氮化物/金屬以及金屬氮化物復(fù)合體系等。通過工藝調(diào)整以及膜層的匹配性選擇，便能取得比單一膜層體系更好的耐腐蝕性能。

PVD表面涂層處理技術(shù)，涉及的模具包括冷沖模、塑料模、熱鍛模、擠壓模等，涉及的零件有各種易磨損的部件，例如錄音機(jī)磁頭外殼拉伸模，對(duì)其材料為YG20硬質(zhì)合金的模具工作零件進(jìn)行PVD涂覆TiN處理，壽命從原來的13萬次提高到45萬次以上，物理氣相沉積技術(shù)是通過加熱或離子轟擊（噴射）使堅(jiān)固的高純度涂層材料（金屬，如鈦、鉻和鋁）蒸發(fā)。