

北京賽米萊德貿易有限公司
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國產光刻膠-玻璃光刻膠公司-彩色光刻膠品牌
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光刻膠穩(wěn)定性
化學穩(wěn)定性:在正常儲存和操作條件下,在密閉容器中室溫穩(wěn)定。
避免的條件: 火源、濕氣、過熱的環(huán)境。
不相容的其他材料: 強氧化劑。
光刻膠毒理資料
淡黃色液體,氣味微弱。引起皮膚、眼睛、粘膜和呼吸道的刺激??梢酝ㄟ^皮膚吸收而引起全身性的癥狀。液體是可燃的。
毒性數據
皮膚:可以通過皮膚吸收而引起全身性的癥狀,類似于吸入。長時間或重復接觸可引起輕度至中度的刺激或皮炎。
眼睛:引起眼睛發(fā)炎。
吸入:吸入時可能有害。引起呼吸道刺激。蒸氣可能導致困倦和頭暈。
攝食:吞食有害。
延遲效應:肝和損害,以及動物實驗中有報道血液和GU髓有影響。
光刻膠
光增感劑
是引發(fā)助劑,能吸收光能并轉移給光引發(fā)劑,或本身不吸收光能但協同參與光化學反應,起到提高引發(fā)效率的作用。
光致產酸劑
吸收光能生成酸性物質并使曝光區(qū)域發(fā)生酸解反應,用于化學增幅型光刻膠。
助劑
根據不同的用途添加的顏料、固化劑、分散劑等調節(jié)性能的添加劑。
主要技術參數
分辨率(resolution)
是指光刻膠可再現圖形的小尺寸。一般用關鍵尺寸來(CD,CriticalDimension)衡量分辨率。










光刻膠的參數介紹
1.對比度(Contrast)
對比度指光刻膠從曝光區(qū)到非曝光區(qū)過渡的陡度。 對比度越好,越容易形成側壁陡直的圖形和較高的寬高比。
2.粘滯性/黏度 (Viscosity)
衡量光刻膠流動特性的參數。黏度通常可以使用光刻膠中聚合物的固體含量來控制。同一種光刻膠根據濃度不同可以有不同的黏度,而不同的黏度決定了該膠的不同的涂膠厚度。
3.抗蝕性(Anti-etching)
光刻膠必須保持它的粘附性,在后續(xù)的刻蝕工序中保護襯底表面。耐熱穩(wěn)定性、抗刻蝕能力和抗離子轟擊能力。
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