人們早采用射頻探針技術(shù)與今天的工具是很不相同的，早期探針使用了由一個很短的線極尖（wire TIp）而逐漸收斂的50-Ω微帶線，通過探針基片上一個小孔而與被測器件（DUT）的壓點（pad）相接觸。此時，其技術(shù)難度在于如何突破4GHz時實現(xiàn)可重復(fù)測量。雖然有可能通過校準(zhǔn)過程來剔除一個接觸線極尖相對較大的串聯(lián)電感的影響，但當(dāng)圓晶片的夾具被移動時，線極尖的輻射阻抗會有較大的變化。高頻測量使用的極尖設(shè)計與用于直流和低頻測量的極尖不同，而且必須使50-Ω環(huán)境盡可能地接近于DUT壓點。
村田無浮動機構(gòu)的自動探針可用于產(chǎn)線大批量測試。探針內(nèi)置在測量裝置內(nèi)，與連接器加壓連接，探針不帶夾爪鎖固功能，因此不會使連接器受損，探針不帶浮動機構(gòu)，因此測量裝置應(yīng)具備浮動機構(gòu)。
常用型號有MM126036  MM126038  MM126048,MM126310等。

奧納科技銷售射頻探針，主要是日本muRata村田探針。
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村田無電纜探針主要用于實驗室評估，測量電纜能夠與村田探針相連，配合完成后，探針可憑借與連接器接觸點上的夾爪自行站立，配合完成后對探針施加的任何壓力都可能導(dǎo)致探針脫落，連接受損或電級剝離。需要細(xì)心使用測試。這類探針一般采用SMA接口進(jìn)行轉(zhuǎn)接。

村田自動探針（無張力型）可用于產(chǎn)線大批量測試，其與帶浮動機構(gòu)的自動探針功能相同，該探針具有結(jié)構(gòu)，因此不受電纜張力影響，該探針使轉(zhuǎn)換電纜更易操作。
為了探測電路性能，我們需要把信號傳導(dǎo)到某類傳輸線上， 這意味著我們需要至少兩個導(dǎo)體，即“信號導(dǎo)體”和“地導(dǎo)體”。除了以上基本的GSG, GS, SG類型的探針，還有各種組合，如GSGSG，GSSG，SGS等等。探針本身需要很好的匹配內(nèi)部不同傳輸媒介的特征阻抗，要求保證在不同傳輸模式下電磁能量的傳輸。