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嵌入可動電極的微慣性傳感器的設(shè)計

MEMS電容式微慣性傳感器因其具有尺寸小、靈敏度高、穩(wěn)定性好、溫度漂移小、功耗低、很好的工作在力平衡模式下等等優(yōu)點，在軍事、汽車工業(yè)、生物醫(yī)學(xué)、消費電子、慣性導(dǎo)航等領(lǐng)域得到廣泛的應(yīng)用。 本首先分析了電容式微慣性傳感器的測量控制原理和系統(tǒng)動態(tài)模型，并在此基礎(chǔ)上通過三個方面設(shè)計出新型嵌入橫向可動電極的微慣性傳感器，分別是：支撐梁結(jié)構(gòu)、微執(zhí)行器結(jié)構(gòu)和檢測電容結(jié)構(gòu)。通過分別對以上三方面不同結(jié)構(gòu)模型的分析對比，在傳感器設(shè)計中選用U形梁結(jié)構(gòu)作為傳感器的支撐梁，電磁執(zhí)行器作為驅(qū)動力，梳柵結(jié)構(gòu)作為檢測電容結(jié)構(gòu)。

其中為了克服深反應(yīng)離子刻蝕關(guān)于深寬比不能做大的限制和降低噪聲，詳細(xì)介紹了電磁驅(qū)動增大傳感器初始檢測電容的工作原理，通過嵌入可動電極和電磁驅(qū)動作用減小電容間隙，結(jié)果表明，電磁驅(qū)動使得傳感器的電容間隙減小4μm，初始檢測電容由1.28pf增大到6.4pf。 根據(jù)以上理論分析和參數(shù)設(shè)計，給出了新型電容式微慣性傳感器的整體結(jié)構(gòu)模型，并利用有限元軟件Ansys進(jìn)行。結(jié)果表明所設(shè)計的傳感器在非敏感方向上梁的剛度較大，軸向交叉效應(yīng)得到了有效抑制；傳感器的靜態(tài)位移靈敏度為0.659μm/g，施加電磁驅(qū)動前后的電容靈敏度分別為0.15pf/g和0.192pf/g，增大為原來的1.28倍；同時應(yīng)力分析結(jié)果表明，傳感器能夠抵擋1000g的加速度信號的沖擊而不被損壞。之后利用電磁分析軟件ANSOFT-Maxwell分析了邊緣效應(yīng)對傳感器性能的影響，表明小尺寸的傳感器電容的邊緣效應(yīng)不可忽略。

用什么直流電機(jī)驅(qū)動芯片（二）

2 ML4428原理圖及功能實現(xiàn)

ML4428電機(jī)控制器不用霍爾傳感器就可為Y形無刷直流電機(jī)(BLDC)提供起動和調(diào)速所需的各種功能。它采用28腳雙列表面SOIC封裝，它的內(nèi)部框圖如圖1所示〔1〕，ML4428使用鎖相環(huán)技術(shù)，從電機(jī)線圈檢測反電勢，確定換向次序；采用專門的反電勢檢測技術(shù)，可實現(xiàn)三相無刷直流換向且不受PWM噪聲及電機(jī)緩沖電路的影響；采用了檢查轉(zhuǎn)子位置并準(zhǔn)確對電機(jī)加速的起動技術(shù)，確保起動時電機(jī)不會反轉(zhuǎn)并可縮短起動時間。

2.1 反電勢檢測信號的獲得

無位置傳感器無刷直流電動機(jī)的控制與有位置傳感器無刷直流電機(jī)控制的根本區(qū)別就是利用反電勢的波形尋找換向點。當(dāng)永磁無刷直流電動機(jī)運轉(zhuǎn)時，各相繞組的反電動勢(EMF)與轉(zhuǎn)子位置密切相關(guān)。由于各相繞組是交替導(dǎo)通工作的，在某相不導(dǎo)通的時刻，其反電動勢波形的某些特殊點，可代替轉(zhuǎn)子位置傳感器的功能，得到所需要的信息。

由于對于單相反電動勢波形圖，反電動勢過零點30°處對應(yīng)繞組的換向信號，找出反電動勢過零點，即反電動勢檢測的任務(wù)〔2〕?；谶@一原理，在該芯片內(nèi)設(shè)計了一個獨特的反電勢檢測電路(見圖2)，由于有了中點模擬電路，不需從電機(jī)三相繞組中引出中線

如何區(qū)分原裝Ic和冒充Ic

國產(chǎn)原裝ic冒充很難辨認(rèn)，只能通過比較，在外盒、標(biāo)簽、包裝上還是有些區(qū)別。

瑞泰威驅(qū)動IC廠家，是國內(nèi)IC電子元器件的代理銷售企業(yè)，專業(yè)從事各類驅(qū)動IC、存儲IC、傳感器IC、觸摸IC銷售，品類齊全，具備上百個型號產(chǎn)品原裝zhegn品。

假原包裝ic比較標(biāo)簽是否和原裝的標(biāo)簽有區(qū)別，標(biāo)簽上的批號和芯片上的批號要一致。原廠的包裝都很規(guī)整，有的會有防靜電袋包裹，但不是所有廠家的產(chǎn)品都會有防靜電袋。如果是未開封的防靜電包裝，打開后里面的管子或盤應(yīng)該是很潔凈。如果有塑料泡沫或者防震塑料袋，國外大廠的這些配件國內(nèi)很難模仿，比較就能看出差異。從一個管或者盤中拿出幾個片子，并排放一起，原裝產(chǎn)品打字的內(nèi)容肯定是一致的，打字、定位孔、 腳的位置是比較整齊的，定位孔中的內(nèi)容也一致。 當(dāng)然也不排除一些廠家在定位孔和打字位置上并不固定，比如 AVAGO 。

原包裝已經(jīng)拆開或者已經(jīng)沒有原包裝，但是是原廠原裝貨，現(xiàn)在電子市場上很多的貨都是這樣