晶圓搬運機(jī)械手 晶圓搬運機(jī)械手
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晶圓搬運機(jī)械手-晶圓搬運機(jī)械手

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發(fā)貨地 江蘇省蘇州市
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品牌 晶圓搬運機(jī)械手
型號 晶圓搬運機(jī)械手
是否進(jìn)口 國產(chǎn)
工作范圍 2000
用途 晶圓搬運機(jī)械手
調(diào)試 含
運輸 含
應(yīng)用 晶圓搬運機(jī)械手
商品介紹

晶圓搬運機(jī)械手，晶圓搬運機(jī)械手，達(dá)誼恒機(jī)器人達(dá)誼恒晶圓機(jī)器人，半導(dǎo)體產(chǎn)品

  • ViTrox 檢測設(shè)備
  • MPM Edison 印刷系統(tǒng)
  • 晶圓傳輸系統(tǒng)
  • 達(dá)誼恒手臂

    • SMT產(chǎn)品

  • BTU
  • TESDATA
  • PEMTRON
  • 明銳 AOI

    • 達(dá)誼恒手臂

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    真空晶圓搬運機(jī)器人

       參數(shù)詳解 ※1


    型號 Model UTVW-R2800H
    機(jī)械手臂形狀 Robot Type 4軸圓坐標(biāo)型 4 axis Cylindrical Coordinate

    動作范圍

    Operation Range

    		X-axis 680mm
    θ-axis 330°
    Z-axis 50mm

    最大動作速度

    Max. Operation Speed

    		X, A-axis
    		 120°/sec
    θ-axis 80°/sec
    Z-axis 37.5mm/sec
    分解能力     
    Resolution
    		X, A-axis
    		 0.001mm/pulse or less
    θ-axis 0.001°/pulse
    Z-axis 0.001mm/pulse
    往復(fù)位置精度 Repeatability XYZ方向：各±0.1mm
    可搬運重量 Payload 2kg (含手爪   including E/E)
    潔凈度 Cleanliness ISO Class 3 (ISO-14644)
    本體重量 Mass 85kg
    必要設(shè)施 Facilities電源 Power Single phase 200-220±10% VAC 3A
    設(shè)置環(huán)境 Environment溫度 Temperature 15-40℃ (Atmosphere side)/15-80℃ (Vacuum Seal Unit)
    濕度 Humidity Atmospheric pressure ～ 10-6Pa
    聯(lián)系方式
    公司名稱 沃騏智能裝備（蘇州）有限公司
    聯(lián)系賣家 湯洋
    手機(jī) 萦营萨萪萬萪萧萭萤萦萤
    地址 江蘇省蘇州市