不同元素的熒光x射線具有各自的特定波長或能量，因此根據(jù)熒光x射線的波長或能量可以確定元素的組成。如果是波長色散型光譜儀，對(duì)于一定晶面間距的晶體，由檢測器轉(zhuǎn)動(dòng)的2e角可以求出x射線的波長入，從而確定元素成份。對(duì)于能量色散型光譜儀，可以由通道來判別能量，從而確定是何種元素及成份。但是如果元素含量過低或存在元素間的譜線干擾時(shí)，仍需人工鑒別。首先識(shí)別出管靶材的特征x射線和強(qiáng)峰的伴隨線，然后根據(jù)能量標(biāo)注剩余譜線。在分析未知譜線時(shí)，要同時(shí)考慮到樣品的來源、性質(zhì)等元素，以便綜合判斷。

3、X熒光光譜儀定量分析

X射線熒光光譜法進(jìn)行定量分析的根據(jù)是元素的熒光X射線強(qiáng)度Ii與試樣中該元素的含量Ci成正比:Ii=Is×Ci式中Is為Ci=100%時(shí)，該元素的熒光X射線的強(qiáng)度。根據(jù)上式，可以采用標(biāo)準(zhǔn)曲線法、增量法、內(nèi)標(biāo)法等進(jìn)行定量分析。但是這些方法都要使標(biāo)準(zhǔn)樣品的組成與試樣的組成盡可能相同或相似，否則試樣的基體效應(yīng)是指樣品的基本化學(xué)組成和物理化學(xué)狀態(tài)的變化對(duì)X射線熒光強(qiáng)度所造成的影響?；瘜W(xué)組成的變化，會(huì)影響樣品對(duì)一次X射線和X射線熒光的吸收，也會(huì)改變熒光增應(yīng)。例如，在測定不銹鋼中Fe和Ni等元素時(shí)，由于一次X射線的激發(fā)會(huì)產(chǎn)生Nika熒光X射線，Nika在樣品中可能被Fe吸收，使Fe激發(fā)產(chǎn)生Feka。測定Ni時(shí)，因?yàn)镕e的吸收效應(yīng)使結(jié)果偏低，測定Fe時(shí)，由于熒光增應(yīng)使結(jié)果偏高。

我國學(xué)者對(duì)不同時(shí)期WDXRF的進(jìn)展曾予以評(píng)述。WDXRF譜儀從儀器光路結(jié)構(gòu)來看，依然是建立在布拉格定律基礎(chǔ)之上，但儀器面目全新。縱觀30年來的發(fā)展軌跡，可總結(jié)出如下特點(diǎn) 。

定性和半定量分析自動(dòng)化。在20世紀(jì)80年代，由有經(jīng)驗(yàn)的分析工作者通過查閱掃譜圖來判斷定性分析結(jié)果，但要依據(jù)定性分析結(jié)果估算為含量是十分困難的。現(xiàn)在商品儀器基本上配有定性和無標(biāo)準(zhǔn)樣(半)定量分析軟件，在絕大多數(shù)情況下不僅自動(dòng)給出樣品的元素組成，還可得出近似定量的分析結(jié)果。

譜儀的操作由自動(dòng)化向智能化發(fā)展。在掌握制樣技術(shù)基礎(chǔ)上，從事常規(guī)分析的人員經(jīng)短期培訓(xùn)即可操作儀器，在智能化軟件指引下完成常規(guī)試樣分析。如在鋼鐵和水泥等行業(yè)，質(zhì)量控制分析過程中從取樣、制樣、傳輸、樣品裝載和取出、測定和后報(bào)出分析結(jié)果，以及將分析結(jié)果輸出到實(shí)驗(yàn)室自動(dòng)管理系統(tǒng)與其他分析技術(shù)的結(jié)果進(jìn)行匯總，均由軟件完成。配有遠(yuǎn)程控制軟件，用作指導(dǎo)維修和分析。