波恩儀器銷售德國(guó)SENTECH儀器RM1000/RM2000 反射式膜厚儀  紫外可見光譜反射橢偏儀

反射膜厚儀RM 1000和RM 2000

紫外可見光譜反射干涉式膜厚儀，又叫白光干涉儀，可測(cè)量分析膜厚、光學(xué)常數(shù)、材料組分?？蓽y(cè)量SiNx / mcSi單晶硅太陽(yáng)能電池防反膜。

擴(kuò)展折射率指數(shù)測(cè)量極限

我們的反射儀的特點(diǎn)是通過(guò)樣品的高度和傾斜調(diào)整進(jìn)行準(zhǔn)確的單光束反射率測(cè)量，光學(xué)布局的高光導(dǎo)允許對(duì)n和k進(jìn)行重復(fù)測(cè)量，對(duì)粗糙表面進(jìn)行測(cè)量以及對(duì)非常薄的薄膜進(jìn)行厚度測(cè)量。

紫外-近紅外光譜范圍

RM 1000 430 nm – 930 nm

RM 2000 200 nm – 930 nm

高分辨率自動(dòng)掃描

反射儀RM 1000和RM 2000可以選配x-y自動(dòng)掃描臺(tái)和自動(dòng)掃描軟件、用于小光斑尺寸的物鏡和攝像機(jī)。

反射膜厚儀RM 1000和RM 2000測(cè)量具有光滑或粗糙表面的平坦或彎曲樣品的反射率。利用SENTECH FTPadv Expert軟件計(jì)算單層或?qū)盈B膜的厚度、消光系數(shù)和折射率指數(shù)。在紫外-可見光- 近紅外光譜范圍內(nèi)，可以分析5nm～50μm厚度的單層膜、層疊膜和基片。

RM 1000和RM 2000代表高端SENTECH反射儀。臺(tái)式裝置包括高度穩(wěn)定的光源、具有自動(dòng)準(zhǔn)直透鏡和顯微鏡的反射光學(xué)部件、高度和傾斜可調(diào)的樣品臺(tái)、光譜光度計(jì)和電源。它可以選配x-y自動(dòng)掃描臺(tái)和自動(dòng)掃描軟件、用于小光斑尺寸的物鏡和攝像機(jī)。

除了膜厚和光學(xué)常數(shù)之外，我們的反射儀還可以測(cè)量薄膜(例如，AlGaN on GaN，SiGe on Si)、防反射涂層(例如，紋理硅太陽(yáng)能電池上的防反射涂層、紫外敏感GaN器件上的防反射涂層)，以及小型醫(yī)用支架上的防反射涂層。該反射儀支持在微電子、微系統(tǒng)技術(shù)、光電子、玻璃涂層、平板技術(shù)、生命科學(xué)、生物技術(shù)等領(lǐng)域的應(yīng)用。

SENTECH ’ Reflectometer RM能夠在UV-VIS-NIR光譜范圍對(duì)單層膜、多層膜和基底材料進(jìn)行高精度反射光譜測(cè)量?？蓪?duì)吸收或透明基底上的透明或弱吸收薄膜分析厚度和折射率

關(guān)鍵特性:
? 高精度反射率測(cè)量，非接觸，正入射光
? 寬光譜范圍，可從 UV至NIR
? 測(cè)量反射率曲線R, 薄膜厚度，折射率
? FTPexpert 軟件，用于測(cè)量薄膜的光學(xué)參數(shù)
? 測(cè)量半導(dǎo)體混合物的組分 (例如： AlGaN on GaN)
? 分析各向異性薄膜

選項(xiàng):
? 光譜范圍擴(kuò)展至DUV (200 nm)
? 光譜范圍拓展至NIR (1700 nm)
? x-y 地貌圖掃描樣品臺(tái)和軟件
? 攝象頭
? PC

技術(shù)指標(biāo):