波恩儀器銷售德國SENTECH儀器結(jié)合橢偏反射儀CER  SE 500adv  組合式橢偏儀

性能、高可靠性，擁有業(yè)內(nèi)高測量精度?？蓽y量兩層膜厚度，或一層膜厚度和折射率。CER模式，可結(jié)合反射式膜厚儀和激光橢偏儀，給出測量數(shù)據(jù)。選件與SE400選件相同

厚度確定

橢偏測量和反射測量的結(jié)合允許通過自動識別循環(huán)厚度周期來快速且明確地確定透明膜的厚度。

寬的測量范圍

激光橢偏儀和反射儀的結(jié)合將透明薄膜的厚度范圍擴展到25μm，更多地取決于光度計的選項。

擴展激光橢偏儀的極限

性能優(yōu)異的多角度手動角度計和角度精度優(yōu)越的激光橢偏儀允許測量單層薄膜和層疊膜的折射率、消光系數(shù)和膜厚。

SE 500adv結(jié)合了橢偏儀和反射儀，除了測量透明膜層厚度的模糊性。它把可測量的厚度擴展到25m，因此SE 500adv擴展了標(biāo)準(zhǔn)激光橢偏儀SE 400adv的能力，特別適用于分析較厚的介質(zhì)膜、有機材料、光阻、硅和多晶硅薄膜。

SE 500adv可作為激光橢偏儀、膜厚探針和CER橢偏儀使用。因此，它提供了標(biāo)準(zhǔn)激光橢偏儀從未達(dá)到的大靈活性。作為橢偏儀，可以進行單角度和多角度測量。當(dāng)用作膜厚探針時，在正常入射下測量透明或弱吸收膜的厚度。

SE 500adv中的橢偏測量和反射測量的組合包括橢圓測量光學(xué)部件、角度計、組合反射測量頭和自動準(zhǔn)直透鏡、樣品臺、氦氖激光光源、激光檢測單元和光度計。

SE 500adv的選項支持在微電子、微系統(tǒng)技術(shù)、顯示技術(shù)、光伏、化學(xué)等領(lǐng)域的應(yīng)用。

迄今為止簡單易用的橢偏儀
? SE 500adv結(jié)合橢偏測量和反射測量
? 可消除橢偏測量對透明膜厚度的周期不確定性
? 膜厚測量范圍可擴展至25000 nm.
? 激光波長632.8 nm
? 反射計光譜范圍450 nm-920 nm
? 光斑直徑80 μm
? 150 mm (z-tilt)樣品臺
? 角度計，可變?nèi)肷浣嵌龋竭M5°
? LAN連接電腦

CER組合橢偏儀SE 500advanced可作為激光橢偏儀，CER組合式橢偏儀或反射膜厚儀FTPadvanced操作。比常規(guī)激光橢偏儀有更好的適應(yīng)性。

作為橢偏儀操作
單角度和多角度測量，可測量最多三層膜的厚度和光學(xué)參數(shù)，測量波長632.8nm，有最高的測量精度。
作為反射式膜厚儀FTPadvanced操作
白光正入射測量，可測量透明膜或弱吸收薄膜，厚度最大可達(dá)25μm。配置更先進的軟件FTPexpert后能夠測量多層膜。
作為CER組合橢偏儀操作
解決了透明膜的周期不確定性問題，并由于確定的膜厚周期，折射率測量精度顯著增加?？蓽y量透明膜的Cauchy系數(shù)。

技術(shù)指標(biāo):

精度定義為30次測量的標(biāo)準(zhǔn)差
長時穩(wěn)定性為90°位置時24小時內(nèi)測量的差值

選項
? 手動x-y樣品臺，行程50 mm
? Mapping地貌圖掃描 (x-y, 最大200 mm, 真空吸附)
? 攝像選項，用于樣品校準(zhǔn)和表面監(jiān)視
? 30 μm微細(xì)光斑
? 第二激光波長1550
? 自動對焦
? SIMULATION軟件

廠商名稱： SENTHCH
商品名稱： 組合式橢偏儀
商品型號： SE500adv