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全氟丁基磺酸锍鹽光產(chǎn)酸劑的用途，規(guī)格，全氟丁基磺酸锍鹽光產(chǎn)酸劑使用方法，歡迎您查看。

全氟丁基磺酸锍鹽光產(chǎn)酸劑
英文名稱：Triphenylsulfonium perfluoro-1-butanesufonate (TPS-PFBS , TPS-Nf)
分 子 式：CF3(CF2)3SO3S(C6H5)3
分 子 量：562.47
CAS登記號：144317-44-2
理化性質(zhì)
白色結(jié)晶粉末，熔點：84-88℃ ，含量〉99%(電子工業(yè)級)。
溶解性：丙二醇單甲基醚酯(PGMEA)：約50%，γ-丁基內(nèi)酯：約65%，乙酸乙酯：約65% 。
PAG-4L在樹脂和溶劑中溶解性能好，酸性強，純度高，熱穩(wěn)定性高，揮發(fā)性低。
用途
表面活性劑(SAA)，陽離子光引發(fā)劑，光致產(chǎn)酸劑(PAG)，與全氟辛基磺酸三苯基锍鹽(TPS-PFOS)相比，安全、衛(wèi)生、低毒、環(huán)境友好，可作為目前157-nm、193-nm、248-nm光刻膠中常用光酸劑(PAG)全氟辛基磺酸三苯基锍鹽(TPS-PFOS)的替代品。

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