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氮化硅制品按工藝可以分為反應(yīng)燒結(jié)制品、熱壓制品

氮化硅制品按工藝可以分為反應(yīng)燒結(jié)制品、熱壓制品、常壓燒結(jié)制品、等靜壓燒結(jié)制品和反應(yīng)重?zé)破返取Ｆ渲?，反?yīng)燒結(jié)是一種常用的生產(chǎn)氮化硅耐火制品的方法。

反應(yīng)燒結(jié)法生產(chǎn)氮化硅制品是將磨細(xì)的硅粉（粒度一般小于80μm），用機(jī)壓或等靜壓成型，坯體干燥后，在氮?dú)庵屑訜嶂?350～1400℃，在燒成過程中同時氮化而制得。采用這種生產(chǎn)方法，原料條件和燒成工藝及氣氛條件對制品的性能有很大的影響。

硅粉的粒度越細(xì),比表面積越大,則可降成溫度

硅粉的粒度越細(xì)，比表面積越大，則可降成溫度。粒度較細(xì)的硅粉與粒度較粗的硅粉相比，制品中含α- Si3N4的量。降低硅粉的粒徑，可以降低制品的顯微氣孔尺寸。適當(dāng)?shù)牧６扰浔?，可以提高制品密度?/p>

溫度對氮化速率影響很大。在970～1000℃氮化反應(yīng)開始，在1250℃左右反應(yīng)速率加快。在高溫階段，由于是放熱反應(yīng)，若溫度很快超過硅的熔點(diǎn)（1420℃），則易出現(xiàn)流硅，嚴(yán)重的將使硅粉坯體熔融坍塌。

氮化硅（Si3N4）含有三種晶型，常見有兩種晶型。一種為α-Si3N4，針狀結(jié)晶體，呈白色或灰白色，另一種為β-Si3N4，顏色較深，呈致密的顆粒狀多面體或短棱柱體。兩者均為六方晶系。較長的堆疊順序?qū)е娄料嗟挠捕雀哂讦孪唷?然而，與β相相比，α相化學(xué)不穩(wěn)定。 所以在液相的高溫下，α相總是轉(zhuǎn)變?yōu)棣孪唷?因此，β-Si3N4是氮化硅陶瓷中使用的主要形式。