主要是借助催化劑使有機廢氣在較低的起燃溫度條件下，發(fā)生無焰燃燒，并氧化分解為CO2和H2O，同時放出大量熱。
1）起燃溫度低，反應速率快，節(jié)省能源。催化燃燒過程中，催化劑起到降低VOCs分子與氧分子反應的活化能，改變反應途徑的作用。
2）處理效率高，二次污染物和溫室氣體排放量少。采用催化燃燒處理VOCs廢氣的凈化率通常在95%以上，終產物主要為CO2和H2O。由于催化燃燒溫度低，大量減少NOx的生成。輔助燃料消耗排放的CO2量在總CO2排放量中占很大比例，輔助能源消耗量減少，顯然減少了溫室氣體CO2排放量。
3）適用范圍廣，催化燃燒幾乎可以處理所有的烴類有機廢氣及惡臭氣體，適合處理的VOCs濃度范圍廣。對于低濃度、大流量、多組分而無回收價值的VOCs廢氣，采用催化燃燒法處理是最經(jīng)濟合理的。