電催化氧化工藝集低溫等離子體、微波放電、極板放電與一體，在實(shí)際使用中實(shí)現(xiàn)廢氣的有效處理是極為復(fù)雜的過程，整個(gè)過程在不到1秒的時(shí)間內(nèi)完成。從理論到模型都能探究到相關(guān)的機(jī)理，通過三種方式的集中放電，廢氣分子從低能的E,在千分之一秒的時(shí)間內(nèi)躍遷到足以使其電離的Em級(jí)，廢氣分子鍵充分?jǐn)嗔?，在雪崩式的撞擊中斷裂后的粒子由于質(zhì)量更小，被進(jìn)一步躍遷，與反應(yīng)堆內(nèi)的氧離子氫氧根離子發(fā)生反應(yīng)，生成無害無味的CO2、H2O以及其它高價(jià)化合物。同時(shí)由于反應(yīng)堆內(nèi)臭氧以及紫外線的作用，徹底去除不同范疇的廢氣化合物，實(shí)地較為廣譜的去除空間。

等離子體化學(xué)反應(yīng)過程中，等離子體傳遞化學(xué)能量的反應(yīng)過程中能量的傳遞大致如下：
(1) 電場(chǎng)+電子→高能電子
(2) 高能電子+分子(或原子)→(受激原子、受激基團(tuán)、游離基團(tuán)) 活性基 團(tuán)
(3) 活性基團(tuán)+分子(原子)→生成物+熱
(4) 活性基團(tuán)+活性基團(tuán)→生成物+熱

等離子廢氣凈化器可用于煉油廠、橡膠廠、化工廠、制藥廠、污水處理廠等惡臭氣體的脫臭凈化處理。
惡臭氣體主要來源
硫化氫：
牛皮紙漿、煉油、煉焦、石化、煤氣、糞便處理、二硫化碳的生產(chǎn)或加工。
硫醇類：
牛皮紙漿、煉油、煤氣、制藥、農(nóng)藥、合成樹酯、合成纖維、橡膠。
硫醚類：
牛皮紙漿、煉油、農(nóng)藥、垃圾處理、生活污水下水道 。
氨：
氮肥、硝酸、煉焦、糞便處理、肉類加工。
胺類：
水產(chǎn)加工，畜產(chǎn)加工、皮革、骨膠。
吲哚類：
糞便處理、生活污水處理、煉焦、肉類腐爛、屠宰牲畜。
硝基：
燃料、 。
烴類：
煉油、煉焦、石油化工、電石、化肥、內(nèi)燃機(jī)排氣、油漆、溶劑、油墨印刷 。
醛類：
煉油、石油化工、醫(yī)藥、內(nèi)燃機(jī)排氣、垃圾處理、鑄造。