用于精密鑄造，作為砂型的粘結(jié)劑；用正硅酸乙酯蒸氣處理的金屬表面可防腐防水。正硅酸乙酯可用來對(duì)金屬表面滲硅，處理光學(xué)玻璃可提高透光度；完全水解后產(chǎn)生的極細(xì)氧化硅粉可用于制造熒光粉。正硅酸乙酯是有機(jī)硅油的原料。正硅酸乙酯還可用于制造耐熱、耐化學(xué)品的涂料。在日本，90%的正硅酸乙酯用作防腐蝕涂料（富鋅漆）的基料。