北京科創(chuàng)鼎新真空技術(shù)有限公司主營：氦檢漏設(shè)備,氦質(zhì)譜檢漏儀,LNG抽真空設(shè)備

氦質(zhì)譜檢漏儀的校準(zhǔn)方法

氦質(zhì)譜檢漏儀廣泛應(yīng)用于制冷行業(yè)、核工業(yè)、電子行業(yè)、真空行業(yè)、電力行業(yè)、航空航天等行業(yè)。根據(jù)其工作原理和技術(shù)性能指標(biāo)，通過實驗，總結(jié)通過氦質(zhì)譜檢漏儀對其漏率校準(zhǔn)的方法。

氦質(zhì)譜檢漏儀原理:

氦質(zhì)譜檢漏儀是一種以氦氣作為示漏氣體專門用于檢漏的質(zhì)譜分析儀器。其基本工作原理是采集被檢件中的氣體樣品并將其電離，根據(jù)不

氦質(zhì)譜檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)和電氣部分等組成。

氦質(zhì)譜檢漏儀的內(nèi)部一般有標(biāo)準(zhǔn)漏孔，可將標(biāo)準(zhǔn)漏孔拆卸進行校準(zhǔn)，如果不能單獨校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)漏孔，就可考慮直接通過氦質(zhì)譜檢漏儀進行漏率部分的校準(zhǔn)，本文主要討論這種情況下氦漏率的校準(zhǔn)方法。

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氦質(zhì)譜檢漏儀熱管檢漏

熱管

熱管 (Heat Pipe) 是利用熱傳導(dǎo)原理與致冷介質(zhì)的快速熱傳遞性質(zhì)，透過熱管將發(fā)熱物體的熱量迅速傳遞到熱源外，其導(dǎo)熱能力超過任何已知金屬的導(dǎo)熱能力。熱管技術(shù)目前廣泛應(yīng)用于計算機、各類電器等設(shè)備散熱，常見的形狀有圓管狀，板塊狀 (VC 單體) 等。

熱管需要檢漏原因：

熱管內(nèi)部填充特殊液體用來增強熱傳導(dǎo)性能，如果熱管本身存在漏點，首先會影響熱管的導(dǎo)熱性能；其次由于熱管都是安裝在設(shè)備內(nèi)部，如果發(fā)生泄漏，里面封裝的液體就會流出，嚴(yán)重污染和影響設(shè)備的正常運轉(zhuǎn)，所以熱管生產(chǎn)企業(yè)，都會采用 氦質(zhì)譜檢漏儀對熱管進行檢漏。

熱管檢漏客戶案例：某電子股份公司，是世界 IT 產(chǎn)業(yè) 500 強之一，分公司及營業(yè)處遍及美國、日本、歐洲、蘇格蘭、新加坡等地，全球員工近 90000人。該企業(yè)是全球較大的電源供應(yīng)器制造商，市場占有率達 25% 以上。

熱管檢漏方法：

該企業(yè)熱管出廠前標(biāo)準(zhǔn)漏率合格線是 E-8 mbarl/s，使用氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏時，設(shè)定 E-8 為報警值，當(dāng)漏率低于該值時產(chǎn)品是合格的，當(dāng)漏率高于此值，檢漏儀發(fā)出聲光警報，說明產(chǎn)品有漏。

熱管采用檢漏儀的真空檢漏模式，因為產(chǎn)品沒有抽真空的標(biāo)準(zhǔn)接口，上海伯東根據(jù)客戶實際情況定制真空夾具，一頭連接檢漏儀，一頭連接產(chǎn)品，具體做法如下：

1.啟動氦質(zhì)譜檢漏儀，裝上夾具

2.將熱管插入夾具，并用真空封泥封堵

3.按下檢漏儀啟動鍵，開始抽真空

4.在產(chǎn)品周圍噴氦氣，以 E-8 mbarl/s 為合格線

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氦質(zhì)譜檢漏儀進展集中體現(xiàn)如下方面

1.智能化：以往的氦質(zhì)譜檢漏儀操作非常輔助，而現(xiàn)在的觸屏式，自動檢測。

2.便捷化：這幾年市場上各種小型便捷的檢漏儀能夠為行業(yè)提供小巧而靈敏性高的設(shè)備。

3.自動化程度高：自動校準(zhǔn)氦峰，自動調(diào)節(jié)0點，量程自動轉(zhuǎn)換，自動數(shù)據(jù)處理，可外接打印機。整機由微機控制，菜擇功能，一個按鈕即可完成全檢漏過程。

4.全無油的干式檢漏：有些國家生產(chǎn)的檢漏儀，可采用干式泵，達到無油蒸氣的效果，為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏，提供了有利條件。

5.檢漏范圍寬：現(xiàn)今生產(chǎn)的四極檢漏儀，質(zhì)量范圍很寬，不僅可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。