超純氣體指純度高于99.99%的氣體,是一種高純化學試劑。為適應一些科學研究和尖端技術的特殊需要而制備。一些對氣體要求特別純凈的部門，需要超純氣體的純度高達99.9999%以上,每升氣體中粒度大于0.5μm的塵粒數(shù)應小于三個。

品種用途

超純氣體的品種發(fā)展十分迅速，1981年單一超純氣體120多種，混合超純氣體12類約300多種。中國能生產單一超純氣體十多種，混合超純氣體幾十種。除表中所列主要品種外，單一超純氣體還有二氧化硫、一氧化碳、二氧化碳、乙烯、正丁烷、砷烷、丙二烯、順丁烯、丁二烯等?；旌铣儦怏w為上述單一超純氣體的混合氣，分別有專門的用途，如純氬-氮混合氣用于電光源中鎢絲的還原,純氬-氖混合氣、氬-氦混合氣用于霓虹燈充氣等，還有不少超純混合氣體作為色譜、質譜和光譜分析中的標準氣。

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