渦輪分子泵的大致原理如下所示。

在氣體分子相互碰撞之前的距離即平均自由行程增大的空間(一般是指0.1Pa以下的真空區(qū)域)內(nèi)，氣體

分子將撞在高速移動的壁上，即氣體分子沖擊著轉(zhuǎn)子葉片。該氣體分子被轉(zhuǎn)子葉片彈出時(shí)，以垂直于轉(zhuǎn)子

葉片表面的180°立體角進(jìn)行反射，與入射方向無關(guān)。假設(shè)轉(zhuǎn)子葉片表面上沒有發(fā)生熱交換，彈出的氣體

分子速度為其自身的熱運(yùn)動速度與轉(zhuǎn)子速度的矢量和。由于轉(zhuǎn)子賦予氣體分子的速度由其幾何形狀和轉(zhuǎn)速

而定，因此氣體分子從無方向性的熱運(yùn)動轉(zhuǎn)換為有方向性的運(yùn)動。