正硅酸乙酯無色液體，稍有氣味。熔點 -77℃，沸點165~169℃。能與乙醇和乙醚混溶，微溶于苯，幾乎不溶于水，但能逐漸被水分解成氧化硅。在潮濕空氣中逐漸混濁、靜置后析出硅酸沉淀。無水分存在時穩(wěn)定，蒸餾時不分解。易燃。高濃度時有麻醉性。有刺激性。用于精密鑄造，作為砂型的粘結劑；用正硅酸乙酯蒸氣處理的金屬表面可防腐防水。正硅酸乙酯可用來對金屬表面滲硅，處理光學玻璃可提高透光度；完全水解后產生的極細氧化硅粉可用于制造熒光粉。正硅酸乙酯是有機硅油的原料。正硅酸乙酯還可用于制造耐熱、耐化學品的涂料。