高壓發(fā)生器：

近年來, 譜儀的高壓發(fā)生器幾乎都采用高頻變換高壓發(fā)生器。發(fā)生器的高壓穩(wěn)定性也較高, 一般說來, 當網(wǎng)路電壓波動不超過10% 時, 穩(wěn)定性可達±0.0005%, 從而保證了X 射線管所發(fā)射X 射線強度的高穩(wěn)定性。

測角儀：

測角儀是順序式 X 射線熒光光譜儀的核心部件, 也是同時式多道 X 射線熒光光譜儀中掃描的基本部件。如一些儀器制造商分別用無齒輪莫爾條紋測角儀和激光定位光學傳感器驅(qū)動測角儀，取代傳統(tǒng) θ/2θ 齒輪機械運動的測角儀， 2θ 掃描精度也由齒輪機械運動的±0.001°提高到±0.0002°， 2θ掃描速度提高到80°/s 。

探測器和計數(shù)器：

在現(xiàn)代波長色散 X 射線熒光光譜儀中, 探測器和計數(shù)器的線性計數(shù)率由原來的105 s- 1擴展到106 s- 1, 甚至線性計數(shù)率可達4 106 s- 1 。正比計數(shù)器逐漸由原來的流氣式向封閉式過度。采用封閉式正比計數(shù)器后, 工作時既 無需配制工作氣體, 又防止了氣體質(zhì)量的不一致 和流量變化對測量結果的影響,從而保證了測量 結果具有更好的再現(xiàn)性。

原子熒光光譜法具有原子吸收和原子發(fā)射兩種分析方法的優(yōu)勢，并且克服了這2種方法在某些地方的不足。該法的優(yōu)點是靈敏度高，目前已有20多種元素的檢出限優(yōu)于原子吸收光譜法和原子發(fā)射光譜法;譜線簡單;在低濃度時校準曲線的線性范圍寬達3~5個數(shù)量級，特別是用激光做激發(fā)光源時更佳，但其存在熒光淬滅效應，散射光干擾等問題。

該方法主要用于金屬元素的測定，在環(huán)境科學、高純物質(zhì)、礦物、水質(zhì)監(jiān)控、生物制品和醫(yī)學分析等方面有廣泛的應用。

原子吸收光譜法又稱原子吸收分光光度分析法，是基于氣態(tài)的基態(tài)原子外層電子對紫外光和可見光范圍的相對應原子共振輻射線的吸收強度來定量被測元素含量為基礎的分析方法，是一種測量特定氣態(tài)原子對光輻射的吸收的方法。

其基本原理是從空心陰極燈或光源中發(fā)射出一束特定波長的入射光，通過原子化器中待測元素的原子蒸汽時，部分被吸收，透過的部分經(jīng)分光系統(tǒng)和檢測系統(tǒng)即可測得該特征譜線被吸收的程度即吸光度，根據(jù)吸光度與該元素的原子濃度成線性關系，即可求出待測物的含量。

ZSX Primus III+具有場新的上照射式光學配置。用戶再也不用擔心由于維護樣品室導致的路徑污染或停止時間。上照射式幾何結構消除了清掃的擔心并增加了時間。

高精度樣品定位

高精度樣品定位確保了樣品表面與X設吸納管之間的距離恒定。這對例如合金分析等需要高精度的應用非常重要。ZSX Primus III+使用一個獨特的光學配置執(zhí)行高精度分析，用于減少由于例如電熔銖和壓片等樣品中的非平面表面導致的錯誤。

SQX 基本參數(shù)軟件與EZ掃描軟件

用戶使用EZ掃描軟件可以在無需任何事先設置即可分析位置樣品。這個節(jié)省時間的特征僅需點擊鼠標和輸入樣品名稱。結合SQX基本參數(shù)軟件，快速提供準確的XRF結果。SQX能夠自動校正包括線重疊的所有矩陣效果。SQX還可以通過光電子（輕、超輕元素）、變化的環(huán)境、雜質(zhì)和不同的樣品尺寸校正輔助的激發(fā)效應。使用匹配庫和的掃描分析程序提高準確性。