主要功能

·        臺階高度：幾納米至1200μm

·        低觸力：0.03至15mg

·        視頻：500萬像素高分辨率彩色攝像頭

·        梯形失真校正：消除側(cè)視光學(xué)系統(tǒng)引起的失真

·        圓弧校正：消除由于探針的弧形運(yùn)動引起的誤差

·        緊湊尺寸：最小占地面積的臺式探針式輪廓儀

·        軟件：用戶友好的軟件界面

主要應(yīng)用

·        臺階高度：2D臺階高度

·        紋理：2D粗糙度和波紋度

·        形式：2D翹曲和形狀

·        應(yīng)力：2D薄膜應(yīng)力

工業(yè)應(yīng)用

·        大學(xué)，研究實(shí)驗(yàn)室和研究所

·        半導(dǎo)體和復(fù)合半導(dǎo)體

·        SIMS：二次離子質(zhì)譜

·        LED：發(fā)光二極管

·        太陽能

·        MEMS：微電子機(jī)械系統(tǒng)

·        汽車

·        醫(yī)療設(shè)備

·        還有更多：請與我們聯(lián)系并探討您的要求