簡介：

超高純氣體純化技術(shù)是有色金屬研究總院“十三五”重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)化方向。在“十二五”期間軍工項(xiàng)目科研成果基礎(chǔ)上研發(fā)的氣體純化材料，具有處理量大、去除雜質(zhì)種類多、吸附深度大、使用壽命長等優(yōu)點(diǎn)，并以此為核心技術(shù)開發(fā)出多個型號的惰性氣體、氫氣和氮?dú)獾瘸呒儦怏w純化裝置。同時，有研總院自身具備不斷創(chuàng)新的研發(fā)能力，成套的純化材料生產(chǎn)、純化器組裝技術(shù)，以及完善的純化器性能測試條件，可根據(jù)用戶需求設(shè)計(jì)完整解決方案、定制非標(biāo)產(chǎn)品，并提供各項(xiàng)性能檢測服務(wù)，目前產(chǎn)品已應(yīng)用于中國科學(xué)院理化所、中國核工業(yè)集團(tuán)、西南化工研究設(shè)計(jì)院、北京師范大學(xué)、北京航空航天大學(xué)、北京科技大學(xué)、國家有色金屬材料檢測中心，哈爾濱師范大學(xué)等單位獲得應(yīng)用。

UP10M工業(yè)用超高純氣體純化器采用活性金屬為化學(xué)吸附劑，當(dāng)原料氣通過活性金屬純化床時，氣體中O ₂，H₂O，N₂，CO，CO₂，CH₄等雜質(zhì)氣體與活性金屬發(fā)生化學(xué)吸附反應(yīng)，根據(jù)原料氣純度不同，一次純化后出口氣體純度即達(dá)到 7N-8N，可實(shí)現(xiàn)無人值守全自動運(yùn)行，并具有實(shí)時監(jiān)測、故障報警和反饋等功能。為保證產(chǎn)品質(zhì)量，純化器系統(tǒng)管路連接全部采用 Swagelok 全自動軌道焊機(jī)焊接，漏率低于 10^－9 Pa；關(guān)鍵部件焊接、組裝、生產(chǎn)均在千級超凈環(huán)境中進(jìn)射流沖蝕試驗(yàn)機(jī)便于在各種條件下測定的磨損率。磨損率可 以用來確定在給定操作條件的材料。它也可以被用來預(yù)測使用壽命和壽命周期成本。

UP系列氣體純化器

委托上海正帆科技公司對 GRINM-UP1L 氬氣純化器性能檢測結(jié)果

部分用于現(xiàn)場照片：

山西中升鋼廠光譜儀配套UP10M使用現(xiàn)場，分析用氣體純度達(dá)到光譜儀檢測所需的級的綠色。

          北京科技大學(xué)CVD設(shè)備用的多臺UP1L氬氣純化器

西南化工研究院定制 20MPa/30Nm³ 氬氣純化器

           搭載氫氣純化的電解水制氫/在線純化系統(tǒng)，用于人造鉆石生產(chǎn)高純氫場合

UP10M工業(yè)用超高純氣體純化器產(chǎn)品參數(shù)：

l  原料氣純度要求：≥99.999%，He/Ar/H₂ /N₂

l  產(chǎn)品氣純度：≥99.99999%

l  產(chǎn)品氣雜質(zhì)含量：

H₂O ≤5ppb

O₂ ≤10ppb

N₂ ≤10ppb（原料氣非 N₂ ）

H₂ ≤10ppb（原料氣非 H₂ ）

CO ≤10ppb

CO₂ ≤10ppb

CH₄ ≤10ppb

NMHC ≤10ppb

l  工作流量：≤10Nm³ /h，可定制2-30Nm³ /h

l  閥門：EP 級氣動隔膜閥

l  內(nèi)置顆粒過濾器：2 微米

l  顯示屏：組態(tài)控制軟件，觸摸屏工業(yè)計(jì)算機(jī)控制

l  工作壓力：2.0MPa，氬氣可定制20兆帕高壓

l  出入口氣體壓差：0.2MPa

l  進(jìn)出氣接口：1/4″VCR

l  純化柱及管路：EP級316不銹鋼

l  管路連接：Swagelok 自動軌道焊接

l  電源電壓及功率：220V-380V，10-20kw

l  產(chǎn)品外形尺寸：500×700×1600mm

氣體純化器是集成電路、LED、太陽能板、光纖、燃料電池等制造工藝中必不可少的重要裝備，并可有效提高離子濺射、薄膜生長、焊接、配氣等多項(xiàng)技術(shù)的工藝性能。UP10M 工業(yè)用超高純氣體純化器系列主要用于提供工業(yè)生產(chǎn)、分析測試中的超高純度工藝氣、保護(hù)氣等，也是氣體配制行業(yè)必不可少的關(guān)鍵設(shè)備之一。