泛索能 超聲波半導(dǎo)體光刻膠噴涂系統(tǒng) 高覆蓋率
泛索能 超聲波半導(dǎo)體光刻膠噴涂系統(tǒng) 高覆蓋率
泛索能 超聲波半導(dǎo)體光刻膠噴涂系統(tǒng) 高覆蓋率
泛索能 超聲波半導(dǎo)體光刻膠噴涂系統(tǒng) 高覆蓋率
泛索能 超聲波半導(dǎo)體光刻膠噴涂系統(tǒng) 高覆蓋率
商品參數(shù)
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商品介紹
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聯(lián)系方式
品牌 泛索能
頻率范圍 50 -120KHZ
使用功率 10-100W
外形尺寸 咨詢客服(mm)
溶液轉(zhuǎn)換 >94%
干膜厚度 20nm-100μm
液體粘稠度 ≦30cps
溫度范圍 1-60℃
運動模組 三軸伺服系統(tǒng)
供液方式 恒流注射泵
輸入電壓 220V
外殼材料 鈦合金/不銹鋼
商品介紹

介紹:

    在傳統(tǒng)的高速旋涂無法提供均勻覆蓋深孔形貌或高縱橫比的應(yīng)用中,超聲波半導(dǎo)體光刻膠噴涂系統(tǒng)用均勻的光刻膠薄膜涂覆半導(dǎo)體成為了完整解決方案。與傳統(tǒng)的旋涂相比,采用超聲波噴涂的光致抗蝕劑涂層在沉積更均勻的涂層方面具有優(yōu)勢,特別是在高深寬比溝槽和v形槽結(jié)構(gòu)中沿側(cè)壁頂部沉積時,離心旋涂無法沉積均勻的涂層沿著側(cè)壁形成膜,而沒有過多的光致抗蝕劑沉積在腔體的底部。事實證明,使用超聲技術(shù)進行直接噴涂是將光刻膠沉積到3D微結(jié)構(gòu)上的可靠且有效的方法,從而減少了因金屬過度暴露于抗蝕劑涂層而導(dǎo)致的設(shè)備故障。


    





組成:

    整機由超聲波霧化噴嘴,專用驅(qū)動電源,XYZ三軸聯(lián)動伺服系統(tǒng),智能化操作系統(tǒng),液體供給系統(tǒng),低速空氣裝置,外殼箱體等組成。





優(yōu)勢:

  • 各種表面輪廓的高均勻薄膜覆蓋率。
  • 能夠以高均勻度涂覆高深寬比的溝槽。
  • 無堵塞的霧化噴涂。
  • 能夠以高均勻度沉積薄的單微米層。
  • 經(jīng)過驗證的可重復(fù)噴涂工藝。




應(yīng)用:

   于具有不同形貌的MEMS晶片和其他基板。




服務(wù):

我們提供用于霧化噴涂的各種超聲波處理器。我們也隨時為您提供滿意的加工定制服務(wù)并為您提出解決方案。



聯(lián)系方式
公司名稱 杭州泛索能超聲科技有限公司
聯(lián)系賣家 汪經(jīng)理 (QQ:307945000)
電話 専尉尉尊尊專射尃尅將尋
手機 専尉尉尊尊專射尃尅將尋
地址 浙江省杭州市
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