往復(fù)式真空泵(又稱活塞式真空泵)是干式真空泵；它是依靠汽缸內(nèi)的活塞作往復(fù)運(yùn)動來吸入和排出氣體的。

往復(fù)式真空泵有臥式和立式兩類。但常用的是臥式活塞真空泵；活塞真空泵又有單缸和雙缸之分。其排氣閥的結(jié)構(gòu)有滑閥式和自由閥式。

往復(fù)真空泵的特點(diǎn)是，不怕水蒸氣，牢固，操作容易等。

極限真空度

但其極限真空度不太高：

如滑閥式單級真空泵的極限真空度，為1lTorr (1 Torr= 133. 321'a)滑閥式雙級真空泵的極限真空度，為0. 05- 0. 2Torr。

自由閥式單級真空泵的極限真空度，為1020Torr，往復(fù)式真空泵的抽速范圍，為45-20000立方每小時。

它主要用于從密閉容器中或反應(yīng)釜中抽除空氣或其他氣體；

除非采取特殊措施，一般往復(fù)式真空泵不適用于抽除腐蝕性的氣體或帶有顆粒灰分的氣體；

其被抽氣體的溫度，一般不超過35度。

此外，在下列條件下使用真空泵時必須加裝附屬裝置：

（1）被抽氣體中含有灰塵時，在進(jìn)氣管前必須加裝過毽器；

（2）被抽氣體中含有大量的蒸汽時，在進(jìn)氣管前必須加裝冷凝器。

（3）被抽氣體中含有腐蝕性氣體時，在進(jìn)入真空泵之前必須加裝中和裝置；

（4）被抽氣體的溫度超過35℃時。要加裝冷卻裝置；

（5）被抽氣體中含有大量液體時，在進(jìn)氣管前必須加裝分離器；

（6）泵的啟動電流往往超過電機(jī)額定電流的數(shù)倍，所以必須配用相當(dāng)?shù)膯娱_關(guān)。