目前，隨著微波等離子化學(xué)氣相沉積技術(shù)的不斷提升，研究人員通過提高微波功率以期獲得更加優(yōu)異的產(chǎn)品。三螺釘在使用過程中需要不斷調(diào)節(jié)銷釘伸入矩形波導(dǎo)管種的長度，使系統(tǒng)反射功率達(dá)到*小值，提高系統(tǒng)的穩(wěn)定性。由于三螺釘伸入波導(dǎo)管中的長度需要隨輸入功率的變化不斷調(diào)整，且調(diào)節(jié)完成后無法對三螺釘調(diào)配狀態(tài)進(jìn)行記錄，后續(xù)工作時(shí)仍需要進(jìn)行重復(fù)性的調(diào)節(jié)，導(dǎo)致該調(diào)節(jié)過程耗時(shí)較長，工作效率低。特別在高功率條件下，傳統(tǒng)三螺釘調(diào)配器存在微波泄漏高的危險(xiǎn)，手動調(diào)節(jié)時(shí)，人體部位長時(shí)間暴露在微波之中，存在一定的安全隱患。 一種螺絲鎖緊裝置，包括安裝架，設(shè)于安裝架的驅(qū)動結(jié)構(gòu)，以及被驅(qū)動結(jié)構(gòu)驅(qū)動移動的螺絲刀和測定結(jié)構(gòu)；所述測定結(jié)構(gòu)包括電磁閥氣缸，與電磁閥氣缸的活塞桿固定連接的頂桿，用于檢測電磁閥氣缸推力大小的壓力傳感器，以及與驅(qū)動結(jié)構(gòu)、電磁閥和壓力傳感器均電性連接的控制面板。 現(xiàn)有一種防盜螺絲，可防止使用任何拆卸工具進(jìn)行拆卸，有效的起到了防盜作用。其結(jié)構(gòu)是，防盜螺絲由兩部分組成；上部為六角件，下部為螺紋件；六角件與螺紋件轉(zhuǎn)動連接；螺紋件的上部設(shè)置為內(nèi)多棱孔；六角件內(nèi)設(shè)置有鎖；鎖由鎖芯外殼與鎖芯構(gòu)成；鎖芯與鎖芯外殼轉(zhuǎn)動連接。鎖芯外殼與六角件固定連接，起結(jié)構(gòu)為，六角件上設(shè)置一銷釘孔；鎖芯外殼也設(shè)置一銷釘孔，固定銷通過銷釘孔固定連接鎖芯外殼和六角件。六角件下部設(shè)置多棱孔、與螺紋件上的多棱孔貫通；鎖芯下部為一螺紋桿；螺紋桿位于多棱孔內(nèi)；有一帶內(nèi)螺紋的多棱塊，與螺紋桿螺紋連接；多棱塊在多棱孔內(nèi)上下移動。工作時(shí)，左右緩慢擰動六角件，同時(shí)擰動鑰匙，實(shí)現(xiàn)上下多棱孔對位，多棱塊在多棱孔內(nèi)上下移動連接六角件和螺紋件，達(dá)到防盜目的。