美國(guó)艾利卡特ALICAT雙向型氣體質(zhì)量流量控制器采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差專利技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運(yùn)動(dòng)。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對(duì)用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。雙向型質(zhì)量流量控制器可通過定制化的高速比例調(diào)節(jié)閥，正向或反向測(cè)量與控制過程氣體的質(zhì)量流量、體積流量和壓力。采用雙閥門設(shè)計(jì)模式，一臺(tái)閥門專門用于控制進(jìn)氣、另一臺(tái)用于排氣，實(shí)現(xiàn)了僅用一臺(tái)設(shè)備便可同時(shí)控制開放式或密閉容器內(nèi)上游、下游端流量，以及正壓、背壓。 

內(nèi)蒙古微小氣體質(zhì)量流量計(jì)艾利卡特ALICAT-SQ20mfc質(zhì)量流量控制器原理

 

性能指標(biāo)

介質(zhì)要求：非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質(zhì)種類：內(nèi)置了98種氣體，請(qǐng)參考“產(chǎn)品資料”氣體兼容表
一臺(tái)設(shè)備內(nèi)置所有氣體，用戶可現(xiàn)場(chǎng)選擇
量程：從-0.5SCCM～0.5SCCM 到-3000SLPM～3000SLPM
量程比：200:1
顯示流量：-FS～FS
顯示屏：帶按鍵，標(biāo)準(zhǔn)為L(zhǎng)CD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏
顯示方式：同時(shí)顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度
精度：± (0.8%RD+0.2%FS)，RD-讀數(shù) FS-雙向滿量程
高精度：±(0.4%RD + 0.2%FS)，選配
僅適用于量程為5SCCM-500SLPM的設(shè)備
重復(fù)性：± 0.2% FS
零點(diǎn)漂移&滿量程漂移：0.02% FS / ?C / Atm
響應(yīng)時(shí)間：100ms(可調(diào)) 預(yù)熱時(shí)間：<1s
標(biāo)定工況：25?C & 100kPa 絕壓、20?C & 100kPa 絕壓、0?C & 100kPa 絕壓 (三種工況現(xiàn)場(chǎng)可切換)
工作溫度：-10 ～ +50 ?C
工作濕度：0-,無冷凝
標(biāo)準(zhǔn)工作壓力：1MPa 表壓
標(biāo)準(zhǔn)極限耐壓：1.2MPa 表壓

中壓選項(xiàng)：2MPa

內(nèi)蒙古微小氣體質(zhì)量流量計(jì)艾利卡特ALICAT-SQ20mfc質(zhì)量流量控制器原理
數(shù)字輸入/輸出信號(hào)：RS232或RS485或Modbus或Profibus*
模擬輸入/輸出信號(hào)：0-5Vdc或1-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA
可選第二路模擬輸出：質(zhì)量流量或體積流量或壓力或溫度
供電電壓：7-30 Vdc (如選4-20 mA輸出，須為15-30 Vdc)
供電電流：250mA ～ 750mA
電氣接口：8針Mini-DIN或DB9或DB15或6針工業(yè)接頭
材質(zhì)：302不銹鋼、Viton、RTV、玻璃增強(qiáng)尼龍、鋁、黃銅、 430FR 不銹鋼、 硅、 玻璃
安裝方式：對(duì)位置無要求 防護(hù)等級(jí)：IP40

 

即使總線存在一定范圍內(nèi)的共模干擾，也能正確進(jìn)行以上識(shí)別。測(cè)試原理框圖如下圖，其中框圖中的U1是DUT供電電壓、U2是共模電壓、U3是差分電平。CANDT設(shè)備隱性輸入電壓限值測(cè)試原理框圖CANDT設(shè)備顯性輸入電壓限值測(cè)試原理框圖注：ISO11898-2標(biāo)準(zhǔn)中，要求增大差分電壓值的是電流源，由于電流源本身的輸出電容較大，系統(tǒng)響應(yīng)較慢，不適合來模擬電流源，這里使用電壓源串聯(lián)電阻的方式來等效電流源。CANDT測(cè)試流程隱性輸入電壓限值測(cè)試如測(cè)試原理框圖連接狀態(tài)，DUT和CANDT需正常通信；斷開電壓源U3，調(diào)節(jié)電壓源U2，逐步將共模電壓調(diào)到6.5V或-2V，在此期間DUT應(yīng)能正常發(fā)送報(bào)文；調(diào)節(jié)電壓源U3，逐步將差分電平調(diào)到隱性電平上限值0.5V，判斷DUT是否能夠正常發(fā)送報(bào)文，若能，則表示測(cè)試通過。