超高真空 (UHV) 光柵，真空光柵包括真空圓光柵和真空直線光柵尺，

UHV產(chǎn)品特征如下：

– RESOLUTE UHV是首款適合在UHV環(huán)境下使用的值真空式光柵

– 由真空兼容材料和粘合劑制成，出氣率低

– 殘余氣體分析 (RGA) 經(jīng)驗證不會污染真空環(huán)境

– 120 °C烘焙溫度

– 非接觸開放式光學系統(tǒng)提供高速、可靠的操作，摩擦和磨損均為零

– 具備工業(yè)標準的模擬和數(shù)字輸出，分辨率達1 nm

– 電耗低、發(fā)熱小

– 無氣密孔

– 自適應電路可提供高性能、長期可靠性和低電子細分

誤差 (SDE)（RESOLUTE UHV為±40 nm，TONiC UHV為±30 nm，RGH25F UHV和

RGH20F UHV為±50 nm)

– UHV兼容電纜

– TONiC UHV光柵具有光學參考零位

– 高精度直線光柵和圓光柵系列

RESOLUTE UHV、TONiC UHV、RGH25F

UHV和RGH20F UHV讀數(shù)頭

雷尼紹超高真空 (UHV) 兼容光柵系列中的所有產(chǎn)品都經(jīng)過專門設計，用于各種科學、半導體

和其他高級工業(yè)應用場合，真空壓力達10-11 Torr。其基本工作原理與我們的同類標準大氣壓下的產(chǎn)

品相同，但是UHV光柵在設計上消除氣密孔，并且由潔凈的真空兼容材料和粘合劑特制而成。產(chǎn)

品在UHV環(huán)境下的適用性已獲得獨立的專業(yè)檢驗站鑒定，包括殘留氣體分析 (RGA) 光譜測試。

該系列包括RESOLUTE、TONiC、RGH25F和RGH20F讀數(shù)頭，以及各種直線光柵和圓光

柵，提供優(yōu)異的性能和高可靠性。

RESOLUTE UHV采用真正意義上的式光柵工作原理，與RESOLUTE系列的其他產(chǎn)品相

同。因此光柵具備小柵距性能，并且安裝公差大，內(nèi)在安全性高。RESOLUTE開啟后立即確定

位置，減少非受控運動，并且有助于執(zhí)行完整的軸命令，無需返回基準位置或者“開啟并晃

動”。RESOLUTE的分辨率為1 nm，電子細分誤差 (SDE) 為±40 nm，RMS噪音<10 nm，同時也

幫助用戶顯著提高性能。

該系列中的所有增量式讀數(shù)頭都包含動態(tài)信號調(diào)整功能，其中自動增益控制 (AGC) 有助于長

時間內(nèi)獲取穩(wěn)定可靠的信號，而自動偏置量控制 (AOC) 則有助于提高信號保真度。AOC和光柵的

低位置噪聲也有助于降低直驅(qū)系統(tǒng)的速度波動，從而在程度上幫助減少真空條件下電機中積

聚的熱量。

通過直線測量標準確保了高精度，其中包括自貼式鋼帶柵尺、不銹鋼和ZeroMet柵尺選項。圓

光柵選項包括輕薄小巧的RESR / RESM和超高精度的REXM圓柵，精確度保證優(yōu)于±1角秒。