LEGEX系列為初項(xiàng)0.28μm的高精度CNC三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)，對(duì)所有可能產(chǎn)生誤差的因素進(jìn)行嚴(yán)格分析并消除或大程度地降低其影響。

本體底座部分嚴(yán)選材料，采用密封結(jié)構(gòu)以實(shí)現(xiàn)高剛性、高衰減性。采用FEM結(jié)構(gòu)解析模擬進(jìn)行徹底的應(yīng)力分析，保證了幾何運(yùn)動(dòng)精度，使負(fù)荷及其它變量波動(dòng)造成的誤差降至小。此外，還引入了各種技術(shù)來(lái)實(shí)現(xiàn)超高精度，如驅(qū)動(dòng)單元的結(jié)構(gòu)和振動(dòng)對(duì)策等。

用于位置檢測(cè)的長(zhǎng)度測(cè)量單元配備了超高精度測(cè)量單元(自社開(kāi)發(fā))，該單元采用熱膨脹系數(shù)為0的超高精度微晶玻璃尺和高分辨力、高性能反射線(xiàn)性編碼器的組合，具有極高的位置檢測(cè)能力，可實(shí)現(xiàn)超高精度的機(jī)器控制功能。

LEGEX高精度系列三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)配有溫度補(bǔ)償功能，因此設(shè)置環(huán)境不需要恒溫控制室，就可以在寬溫度范圍內(nèi)保證主機(jī)精度。

提供豐富的選件，包括觸發(fā)式和非觸發(fā)式測(cè)頭，數(shù)據(jù)處理部等支持各種工件輕松實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量。