一、簡(jiǎn)介:

無(wú)油干式機(jī)械真空泵(又簡(jiǎn)稱(chēng)干式機(jī)械泵)是指泵能從大氣壓力下開(kāi)始抽氣,又能將被抽=氣體直接排到大氣中去,泵腔內(nèi)無(wú)油或其他工作介質(zhì),而且泵的極限壓力與油封式真空泵同等量級(jí)

或者接近的機(jī)械真空泵。

目前,真空行業(yè)使用的大多數(shù)機(jī)械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流體充當(dāng)泵的工作介質(zhì),在泵內(nèi)起冷卻、密封、潤(rùn)滑等多種作用。隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展以及真空應(yīng)用領(lǐng)域的擴(kuò)大，原

有的機(jī)械真空泵及其組成的抽氣系統(tǒng)出現(xiàn)了兩個(gè)急需解決問(wèn)題:-是泵的工作介質(zhì)返流污染被抽容器 ,而這種返流在許多情況下影響產(chǎn)品的質(zhì)量、數(shù)量,增加設(shè)備的維護(hù)成本。其次，由于某些工

藝過(guò)程中的反應(yīng)物質(zhì)使真空泵內(nèi)的介質(zhì)嚴(yán)重變質(zhì),使泵不能正常工作。

干式機(jī)械真空泵的應(yīng)用是廣泛的,主要有以下幾個(gè)方面:

1 )低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中;

2)半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蟲(chóng)性氣體和研磨微粒;

3)除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝,不希望微?；烊氡糜椭?/font>,而希望微粒排出泵外,則用一定型式的干式機(jī)械真空泵可以滿(mǎn)足要求;

4)在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機(jī)溶劑造成污染 ,適合用干式真空泵;

5)用做一般無(wú)油清潔真空系統(tǒng)的前級(jí)泵,以防止油污染。

二、分類(lèi):

干式真空泵主要有下列幾種形式:

干式螺桿真空泵

無(wú)油往復(fù)真空泵

爪式真空泵

無(wú)油渦旋真空泵

三、原理:

干式螺桿真空泵

干式螺桿真空泵,是利用-對(duì)螺桿,在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽設(shè)備,兩螺桿經(jīng)精細(xì)動(dòng)平衡校正,由軸承支撐,安裝在泵殼中,螺桿與螺桿之間都有一定的間

隙，因此泵工作時(shí),相互之間無(wú)磨擦,運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn),噪音低,工作腔無(wú)需潤(rùn)滑油,因此,干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場(chǎng)合,極限真空更高,消耗功率更低，具有節(jié)能,免維

修等優(yōu)點(diǎn)。它是油封式/水環(huán)式/噴射式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品。

無(wú)油往復(fù)真空泵

靠活塞往復(fù)運(yùn)動(dòng)使泵腔(氣缸)的工作容積周期性地變化來(lái)抽氣的真空泵,又稱(chēng)活塞真空泵。往復(fù)真空泵的結(jié)構(gòu)與往復(fù)活塞壓縮機(jī)相似。工作時(shí),吸氣管接被抽真空容器，排氣管直通大氣。往復(fù)

真空泵可用于真空蒸餾、真空濃縮、真空結(jié)晶、真空過(guò)濾、真空干燥和混凝土真空作業(yè)等。

爪式真空泵

爪式真空泵由多級(jí)轉(zhuǎn)子構(gòu)成,其中每級(jí)都有2個(gè)轉(zhuǎn)子構(gòu)成,兩個(gè)轉(zhuǎn)子反方向旋轉(zhuǎn),吸氣口與泵腔接通，泵腔容積變大而吸氣 ,當(dāng)轉(zhuǎn)子關(guān)閉吸氣口時(shí)吸氣結(jié)束,以后泵腔變小而壓縮氣體,當(dāng)排氣口打

開(kāi)后泵腔排氣,排氣口關(guān)閉時(shí)則排氣完畢,如此循環(huán)工作。

無(wú)油渦旋真空泵

渦旋無(wú)油真空泵的渦旋盤(pán)就是一個(gè)- 端與一個(gè)平面相接的- 個(gè)或幾個(gè)漸開(kāi)線螺旋形成一一個(gè)渦旋型 盤(pán)狀結(jié)構(gòu)。一個(gè)靜渦旋盤(pán)與-個(gè)動(dòng)渦旋盤(pán)組成的一-對(duì)渦旋盤(pán)付構(gòu)成了渦旋無(wú)油真空的基本抽氣機(jī)

構(gòu)。例如在雙級(jí)渦旋無(wú)油真空泵中,有兩個(gè)方向?qū)?yīng)的固定渦旋盤(pán), -個(gè)位于兩個(gè)渦旋盤(pán)之間的轉(zhuǎn)動(dòng)渦旋盤(pán)。動(dòng)、靜渦旋盤(pán)相對(duì)運(yùn)動(dòng)形成容積不斷變化的新月形真空腔使氣體從抽氣口吸入、排氣

口排出、完成排氣循環(huán)。

四、性能對(duì)比:

1)真空度:干式螺桿真空泵、爪式真空泵無(wú)油渦旋真空泵極限真空度都很高,最高極限真空均可達(dá)到1-2Pa ;無(wú)油往復(fù)真空泵為粗真空設(shè)備,極限真空百度低,需要搭配羅茨真空泵提高極限真

空。

2)抽氣量:無(wú)油渦旋真空泵由于內(nèi)部結(jié)構(gòu)問(wèn)題,抽氣量較小，只適用于小抽氣量的工藝中;干式螺桿真空泵型號(hào)齊全，可適用大抽謹(jǐn)工藝中,配合羅茨真空泵可以滿(mǎn)足不同客戶(hù)的需求。

3)穩(wěn)定性:干式螺桿真空泵性能穩(wěn)定,噪音低,故障率低;無(wú)油往復(fù)真空泵結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,噪音較高,需要經(jīng)常更換滑片。爪式真空泵由于裝配復(fù)雜,轉(zhuǎn)子與軸不為- -體,出現(xiàn)故障需全部重新拆解裝

配,反復(fù)裝配從而降低產(chǎn)品性能及穩(wěn)定性。

4)特殊處理:由于化工、制藥等相關(guān)I藝氣中會(huì)不同程度含有易燃、易爆以及腐蝕性氣體,所以干式真空泵需要特殊處理。干式螺桿真空泵內(nèi)部結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,兩根轉(zhuǎn)子、泵腔均可做防腐處理,可選

用鎳磷涂層和特氟龍兩種涂層。爪式真空泵很難做防腐處理,各級(jí)隔板之間幾乎無(wú)法做表面處理,轉(zhuǎn)子表面的防腐涂層也容易在裝配時(shí)損傷。無(wú)油渦旋真空泵只適合抽潔凈的氣體,不能抽取易

燃、易爆及具有腐蝕性的氣體。

五、供應(yīng)

威海智德真空科技有限公司主要供應(yīng)設(shè)備:

DP系列干式螺桿真空泵、羅茨真空泵、水環(huán)真空泵、大型復(fù)雜真空機(jī)組。

公司網(wǎng)址: WV W W。drypumps。 net

電①③五六③①貳壹⑧⑨③叢經(jīng)理歡迎咨詢(xún)選購(gòu)。

DP系列干式螺桿真空泵

性能特點(diǎn):

1、工作腔內(nèi)無(wú)任何介質(zhì),可獲得清潔真空。

2、工作腔及螺桿轉(zhuǎn)子表面有防腐涂層,可適應(yīng)惡劣工況。

3、氣體在泵內(nèi)無(wú)壓縮,適宜抽取可凝性氣體。

4、 單臺(tái)泵可從大氣抽至1Pa ,真空系統(tǒng)可大大簡(jiǎn)化。

5、水溫對(duì)真空影響小,節(jié)水達(dá)90%以上,甚至可以不耗水。

6、不耗油,無(wú)滴漏。

7、旋轉(zhuǎn)部件間無(wú)摩擦可高速運(yùn)轉(zhuǎn),整機(jī)體積小。

8、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,維護(hù)方便。

9、被抽氣體直接排出泵體,不污染水,無(wú)環(huán)保壓力,氣體回收更便捷。

10、可與羅茨泵、分子泵組成無(wú)油機(jī)組。

抽速曲線:

工作原理:

干式螺桿真空泵,是利用一-對(duì)螺桿,在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備,兩螺桿經(jīng)精細(xì)動(dòng)平衡校正,由軸承支撐,安裝在泵殼中,螺桿與螺桿之間都有一定的間

隙,因此泵工作時(shí), 相互之間無(wú)磨擦,運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn),噪音低,工作腔無(wú)需潤(rùn)滑油,因此,干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場(chǎng)合,極限真空更高,消耗功率更低,具有節(jié)能,免維

修等優(yōu)點(diǎn)。它是油封式/水環(huán)式/噴射式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品。

JZJD系列干式真空機(jī)組

結(jié)構(gòu)及特點(diǎn):

JZJD系列干式真空機(jī)組是由常規(guī)羅茨真空、干式螺桿真空泵以及閥門(mén)、機(jī)架、電器控制箱組成的 ,其中干式螺桿真空泵作為前級(jí)真空泵,在達(dá)到羅茨真空泵啟動(dòng)壓力時(shí),由鎮(zhèn)空規(guī)頭及壓力變送器

控制羅茨真空泵的啟停。由于羅茨真空泵及干式螺桿真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)部件均不接觸,因此整機(jī)具備運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn),噪音低,結(jié)構(gòu)緊湊占地面積小等優(yōu)點(diǎn)。

性能特點(diǎn):

1 : JZJD系列干式真空機(jī)組抽氣范圍廣( 280-4320m3/h ) , 真空度高(極限壓力可達(dá)0.01Pa)

2 :即使在高真空下依然能保持較大的抽速,滿(mǎn)足客戶(hù)對(duì)高真空、大抽速的要求。

3 :羅茨真空泵與干式螺桿真空泵可根據(jù)抽速比,搭配各種組合方案,有效降低能源消耗,達(dá)到最佳性?xún)r(jià)比。

機(jī)組型號(hào)意義:

雙羅茨螺桿真空機(jī)組

單羅茨螺桿真空機(jī)組

例1 : JZJD1200-4.2 (ZJ1200/ ZJ300/DP430)

例2 : JZJD600-5 ( ZJ600/DP430 )

J-機(jī)組(漢字拼音ji的第一-個(gè)字母) J- 機(jī)組(漢字拼音ji的第一一個(gè)字母)

ZJ一羅茨真空泵

ZJI-羅茨真空泵

D-干式螺桿真空泵(前級(jí)泵) D- 干式螺桿真空泵 (前級(jí)泵)

1200-主泵抽速 (抽速L/S )

600一泵抽速(抽速L/S )

4-中間泵與主泵抽速比5一 主泵與前級(jí)泵抽速比

2一中間泵與前級(jí)泵抽速比

注: DP430為干式螺桿真空泵,抽速為120L/S

典型應(yīng)用/案例

石油、化工、生物制藥領(lǐng)域

油氣、溶劑回收

電子、真空鍍膜、航空、核工業(yè)領(lǐng)域

紡織、冶金等行業(yè)

石油、化工、生物制藥領(lǐng)域

比傳統(tǒng)加工工藝的真空度更高,能夠在正常工作運(yùn)轉(zhuǎn)情況下不間斷排除從泵進(jìn)氣口進(jìn)入的液體,完全解決了容積脫除和工作液的排除問(wèn)題,可獲得最干凈的真空,實(shí)現(xiàn)中間容劑的回收。

具體應(yīng)用:干燥處理、真空蒸餾、分子蒸餾、溶劑的回收、工廠普通真空。

油氣、溶劑回收

由于泵腔內(nèi)無(wú)油無(wú)水,對(duì)所抽=氣體介質(zhì)無(wú)污染,因此在油氣、溶劑回收等方面擁有無(wú)可比擬的優(yōu)勢(shì)

具體應(yīng)用:油氣回收、溶劑回收。

電子、真空鍍膜、航空、核工業(yè)領(lǐng)域.

能夠抽除普通空氣，易燃易爆氣體、腐蝕性氣體,尤其能滿(mǎn)足對(duì)獲得清潔真空要求較高的環(huán)境。

具體應(yīng)用:真空鍍膜、真空蒸餾、真空干燥、拉單晶、特氣制造、離子刻蝕等。

紡織、冶金等行業(yè)

在氨綸、芳綸、纖維、冶金等相關(guān)工藝中應(yīng)用干式真空泵,比其他類(lèi)型真空泵效率更高、無(wú)污染、更節(jié)能。

具體應(yīng)用:真空脫泡、VOD真空吹氧脫碳法等。