我國學(xué)者對不同時期WDXRF的進(jìn)展曾予以評述。WDXRF譜儀從儀器光路結(jié)構(gòu)來看，依然是建立在布拉格定律基礎(chǔ)之上，但儀器面目全新。縱觀30年來的發(fā)展軌跡，可總結(jié)出如下特點 。

新型X射線管和多層膜晶體改善了超輕元素的測量。20世紀(jì)90年代中期以來相繼推出新型的端窗X射線管，延長了使用壽命，縮短了陽極到樣品的距離，端窗口鈹窗厚度從125 μm 改用75 μm或 50 μm; 同時測定輕元素的分光晶體由反射式改用多層膜晶體，可根據(jù)需要生產(chǎn)岀不同晶面間距的多層膜晶體。多層膜晶體還具有耐輻照、背景低、信噪比好和使用壽命長等優(yōu)點，這些新技術(shù)的應(yīng)用使可分析的元素原子序數(shù)從9號的氟前推到5號的硼，在特定條件下甚至可測定4號元素鈹。

電感耦合等離子體發(fā)射光譜是根據(jù)被測元素的原子或離子，在光源中被激發(fā)而產(chǎn)生特征輻射，通過判斷這種特征輻射的存在及其強度的大小，對各元素進(jìn)行定性和定量分析。

電感耦合等離子體發(fā)射光譜法應(yīng)用于環(huán)境水樣、土壤樣品中的微量元素進(jìn)行分析，在元素分析測試中的應(yīng)用技術(shù)具有簡便、快速、分析速度快;檢出限低，多數(shù)可達(dá)0.005μg/ml以下;測量動態(tài)線性范圍寬，一般可達(dá)5～6個數(shù)量級，可同時進(jìn)行高含量元素和低含量元素的分析，可達(dá)到石墨爐原子吸收光譜儀的部分檢出水平;可多種元素同時分析，可定性、定量分析金屬元素，也可分析部分非金屬元素，提高了分析效率，基體效應(yīng)小，低背景干擾、高信噪比、精密度高、準(zhǔn)確性好等優(yōu)點。

低成本

理學(xué)的Supermini200不僅是XRF元素分析需要的一個經(jīng)濟(jì)實惠的選擇，運行成本也很低。只有氣流正比探測器的P10氣體為消耗物。Supermini200不需要冷卻水、管道或外部冷卻裝置。因此降低了系統(tǒng)維修和產(chǎn)品生命周期成本，以及耗材和維修的年度預(yù)算。

超級輕元素性能

分析從微量到高濃度的具有廣泛范圍的輕元素和重元素的復(fù)雜基體材料，是儀器的核心技術(shù)。理學(xué)的Supermini200為了解決復(fù)雜基體中的線重疊，無需反卷積，提供輕元素高靈敏度和卓越的光譜分辨率。輕元素（F、Na、Mg、Ca、Si、Al和P）的低濃度水平分析簡單。