要求                                     解法方法  
解決陰影問題      : 陰影的摩爾條文&雙方向照射光系統(tǒng)  
板彎實時補償(2D+3D方案) : 板彎補償(PadReferencing+Z-Tracking(達叨)  
操作方便 :   RenewalGUI、彩色3D圖片  
異物檢測 : 30異物檢測功能(選項)

軟件 
支持的輸入格式 :Gerberdata(274X、274D,ODB++選項) 
編程軟件 : ePM-SPI

參數(shù)：
測量原理：非接觸式，激光束
測量精度：±0.002mm 重復測量精度：±0.004mm
基座尺寸：324mm×320mm
移動平臺：大范圍快速定位，微調(diào)，電磁鎖定

高度精度{校正模塊)  : 1μm 
01005檢測能力 :<10%at6o 
檢測尺寸:10x10mm 0.39*0.39inch