高溫爐操作規(guī)程

1 準(zhǔn)備工作a,檢查電源線接觸是否良好b,檢查連接線是否正常c,檢查冷卻水是否正常d,檢查密封性是否正常e, 準(zhǔn)備所需工具：無(wú)塵紙、無(wú)水酒精、帆布手套、作業(yè)手套、口罩、耐高溫手套、石墨推車、不銹鋼托盤(pán)2 開(kāi)爐a,打開(kāi)主電源開(kāi)關(guān)b, 向爐體充ya氣至大氣壓，打開(kāi)爐體前門(mén)，取下石墨蓋板c, 將輸送車開(kāi)關(guān)打至 OUTd, 清爐 清理爐膛內(nèi)壁、石墨件及保溫材料上的污物3裝料a,將石墨坩堝放置于輸送車平臺(tái)上，使用限位桿確定其位置，依次裝入硅料。b、拔出限位桿，輸送車開(kāi)關(guān)打至 IN，依次操作 UP - FORWARD - BACK - DOWN，將坩堝裝入爐膛內(nèi)，并確定輸送車會(huì)到初始位置。c、裝入石墨蓋板，擰緊石墨螺栓，關(guān)緊爐門(mén)4 抽氣a、檢查爐門(mén)是否關(guān)緊，真空系統(tǒng)是否密封b、置 DP 按鈕于 DP ON，打開(kāi)干式真空泵，打開(kāi)真空計(jì)開(kāi)關(guān) P1G1，打開(kāi)干式真空泵 。閥門(mén)，開(kāi)始抽氣測(cè)試泄漏率，c、當(dāng)壓力表指示為 50Pa是關(guān)閉真空泵閥門(mén)（非真空泵）露鋁≤1Pa/min，打開(kāi)ya氣閥門(mén)充ya氣（20L/min）。為了進(jìn)行準(zhǔn)確的測(cè)量，除了正確選擇和驗(yàn)證儀器外，還須注意正確安裝整個(gè)系統(tǒng)。加熱 先打開(kāi)水環(huán)泵 再按 RUN，開(kāi)始工藝加熱。冷卻a、加熱結(jié)束后，按工藝條件進(jìn)行冷卻。

高溫下翻轉(zhuǎn)高溫爐會(huì)破壞爐子的絕緣數(shù)據(jù)并縮短

微波是一種頻率在300 MHz至300 GHz之間的波，被加熱的介質(zhì)推測(cè)出的水分子是極性分子。 在快速變化的高頻電磁場(chǎng)的作用下，極性方向?qū)㈦S著外部電場(chǎng)的變化而變化。 分子的運(yùn)動(dòng)產(chǎn)生相互矛盾的效果。上海韻通測(cè)試儀器有限公司是研制、開(kāi)發(fā)、生產(chǎn)氣氛爐、高溫爐、管式爐、真空爐、特種爐的專業(yè)廠家。 此時(shí)，微波場(chǎng)的場(chǎng)能在介質(zhì)中轉(zhuǎn)化為熱能，使材料的溫度升高，發(fā)生一系列物理過(guò)程，例如加熱和膨脹，以達(dá)到微波加熱的目的。

如何選擇管式爐？

1、了解您的應(yīng)用程序

單區(qū)與多區(qū)：多區(qū)爐具有多個(gè)獨(dú)立控制的恒溫區(qū)，允許受控的溫度梯度或較長(zhǎng)的加熱區(qū)。

水平（標(biāo)準(zhǔn)）與垂直：垂直管爐提供較小的占地面積，可用于快速加熱/淬火過(guò)程

RTP（快速熱處理）：可滑動(dòng)的樣品保持器或加熱爐

高壓/真空爐：特殊設(shè)計(jì)的高溫高壓真空處理用不銹鋼或高溫合金管

旋轉(zhuǎn)管式爐：加熱過(guò)程中旋轉(zhuǎn)管以提高粉末加工/涂層均勻性

氣體處理能力：可用于氫氣處理和高溫腐蝕研究的特殊模型

多功能：基于管式爐的完整系統(tǒng)，如CVD、PECVD、HPCVD、ALD、石墨烯和2D材料生長(zhǎng)系統(tǒng)等