電子無(wú)塵廠房潔凈空調(diào)工程的常用方案比較
目前國(guó)內(nèi)還沒(méi)有統(tǒng)一的電子產(chǎn)品的空氣潔凈度等級(jí)或生產(chǎn)環(huán)境控制要求 統(tǒng)一規(guī)定，所以一般是依據(jù)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》（GB50073-2001）以及電子產(chǎn)品的生產(chǎn)廠家實(shí)際經(jīng)驗(yàn)等來(lái)確定電子廠房的潔凈等級(jí)和溫濕度的要求。
1.室內(nèi)空氣參數(shù)要求
（1）溫濕度要求：溫度一般為24+2℃，相對(duì)濕度為55+5％。
（2）新風(fēng)量大。由于這類(lèi)車(chē)間內(nèi)，人員比較多，可根據(jù)以下數(shù)值應(yīng)取下列的
值：非單向流潔凈室總風(fēng)量的10—30％；補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量；保持室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量≥40m3/h。
（3）送風(fēng)量大。為了滿足無(wú)塵車(chē)間內(nèi)的潔凈毒幾熱濕平衡，需要較大的風(fēng)量，就300平方米的車(chē)間，吊頂高度為2.5米的，如果是萬(wàn)級(jí)，送風(fēng)量就需要300X2.5X30=22500m3/h的送風(fēng)量（換氣次數(shù)，是≥25次/h）；如果是十萬(wàn)級(jí)的，送風(fēng)量就需要300X2.5X20=15000 m3/h的送風(fēng)量（換氣次數(shù)，是≥15次/h）。
2．空調(diào)方案的選用比較
（1）組合式空氣處理機(jī)組+冷水機(jī)組+高效送風(fēng)口
這是一個(gè)傳統(tǒng)的凈化空調(diào)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)方案。組合式空氣處理機(jī)組里含有各種功能段，如混合段，初效過(guò)濾段，表冷段，二次回風(fēng)段（或中間段），加熱段，加濕段，中效過(guò)濾段，風(fēng)機(jī)段等。其冷源由冷水機(jī)組提供。
優(yōu)點(diǎn)：A.空氣處理效果好，因空氣經(jīng)過(guò)集中處理，在送風(fēng)過(guò)程中被污染程度較低。送風(fēng)的溫度，濕度的控制比較精確；B.比較適用于有集中冷源的或是較大的廠房；C.空調(diào)冷熱源可于廠房普通空調(diào)系統(tǒng)合用或獨(dú)立冷熱源；D.維修頻率較低，E.車(chē)間的噪音低。
缺點(diǎn)：A.需要有配套的冷凍機(jī)房或有放置熱泵機(jī)組的室外空間。另需要有放置組合式空氣處理機(jī)組的空調(diào)機(jī)房，如25000m3/h的組合式空調(diào)機(jī)組，常用外型尺寸為6450X1850X2250mm左右。對(duì)于舊廠房改造項(xiàng)目來(lái)說(shuō)比較困難空出一個(gè)20—30m2的空調(diào)機(jī)房；B.造價(jià)高。特點(diǎn)：A.建議新風(fēng)經(jīng)過(guò)集中處理后再與回風(fēng)混合，這樣可以減少表冷段的處理負(fù)擔(dān)；C.這類(lèi)方案一般可以適用于潔凈度較高的如百級(jí)，千級(jí)或萬(wàn)級(jí)，十萬(wàn)級(jí)等較低的凈化無(wú)塵廠房。
（2）水冷機(jī)組+增壓風(fēng)柜+高效送風(fēng)口
與種方案比較，這是相對(duì)比較簡(jiǎn)單的空調(diào)方案。它可以大大的縮小機(jī)房的面積，水冷柜機(jī)可以根據(jù)具體的情況布置于較小的機(jī)房?jī)?nèi)或凈化車(chē)間內(nèi)，增壓風(fēng)柜可以布置于機(jī)房?jī)?nèi)或吊在機(jī)房?jī)?nèi)或在夾層內(nèi)。
優(yōu)點(diǎn)：A.空氣處理效果較好的，處理過(guò)后的空氣在送風(fēng)過(guò)程中被污染程度低。送風(fēng)的溫度濕度控制效果可以達(dá)到較好的控制。主要在空氣處理機(jī)組（增壓風(fēng)柜）里進(jìn)行控制；B.布置靈活。自帶冷源；C.大小廠房，新舊廠房都適用；D.維修頻率較低；E.車(chē)間噪音低。
缺點(diǎn)：A..需要小面積的機(jī)房。需要有冷卻塔，冷卻水泵的擺放位置；B.空調(diào)機(jī)組與空氣處理機(jī)組要集中布置；C.造價(jià)較低。特點(diǎn)：這種方案可以是一次回風(fēng)也可以是二次回風(fēng)，具體根據(jù)車(chē)間的大小情況來(lái)定；這類(lèi)方案一般可適用于潔凈度為千級(jí)，萬(wàn)級(jí)，十萬(wàn)級(jí)等的凈化無(wú)塵廠房。
2.分體空調(diào)柜機(jī)+FFU送風(fēng)口
這是簡(jiǎn)單的一個(gè)空調(diào)方案。是直接將分體空調(diào)柜機(jī)布置于車(chē)間內(nèi)，并用彩鋼圍護(hù)起來(lái)，在柜機(jī)回風(fēng)口處再在彩鋼板上開(kāi)回風(fēng)口（帶初效過(guò)濾網(wǎng)）；FFU均勻布置于吊頂天花。這個(gè)方案適用于對(duì)室內(nèi)溫濕度精度要求不高的無(wú)塵車(chē)間。
優(yōu)點(diǎn)：A.不需要占用機(jī)房面積，布置很靈活；B.可以滿足空氣的潔凈度；C.造價(jià)。如300m2的無(wú)塵車(chē)間初投資約需要40萬(wàn)；D.送風(fēng)均勻度好。
缺點(diǎn)：A.溫濕度控制較差；B.可以滿足空氣的潔凈度；C.FFU的維修頻率高。
總結(jié)
對(duì)于常規(guī)電子廠房潔凈室空調(diào)的設(shè)計(jì)，應(yīng)根據(jù)電子廠房的生產(chǎn)工藝要求及甲方的經(jīng)濟(jì)條件來(lái)選用哪種空調(diào)設(shè)計(jì)方案，以滿足生產(chǎn)工藝的要求作為前提。根絕以往經(jīng)驗(yàn)，對(duì)于要求高的可以選用組合式空氣處理機(jī)組集中處理的空調(diào)方案；對(duì)于要求不高的，又要初投資的，可以選用柜機(jī)+FFU?？傊?，具體的方案選擇根據(jù)具體情況而定。
電子廠房?jī)艋照{(diào)方式的選擇
摘要：本文詳細(xì)比較新風(fēng)機(jī)組+混風(fēng)機(jī)組+高效過(guò)濾器與新風(fēng)機(jī)組+干盤(pán)管+FFU這兩種凈化空調(diào)方式的特點(diǎn)，從初投資及運(yùn)行能耗進(jìn)行分析，說(shuō)明新風(fēng)機(jī)組+干盤(pán)管+FFU這種凈化空調(diào)方式是現(xiàn)實(shí)可行的，并根據(jù)實(shí)際經(jīng)驗(yàn)總結(jié)在設(shè)計(jì)過(guò)程中需要注意的一些問(wèn)題。
關(guān)鍵詞：凈化空調(diào)方式；初投資；運(yùn)行能耗；現(xiàn)實(shí)可行
當(dāng)前的電子廠房潔凈室潔凈等級(jí)大部份在1000級(jí)（ISO6級(jí)）—10000級(jí)（ISO7級(jí)）之間，其相當(dāng)?shù)膿Q氣次數(shù)平均在25—60次/H,要求的潔凈室環(huán)境參數(shù)比較嚴(yán)格，大部份要求為室內(nèi)溫度22±2℃，相對(duì)濕度55±5%，潔凈室內(nèi)工藝設(shè)備發(fā)熱量大，部份工藝設(shè)備排除熱量所需的排風(fēng)量也很大。由于要求高，發(fā)熱量大，導(dǎo)致電子廠房潔凈室空調(diào)系統(tǒng)的能耗是很驚人的，所以在設(shè)計(jì)之初對(duì)于潔凈室空調(diào)系統(tǒng)的方式選擇就需要認(rèn)真考慮。
根據(jù)筆者的實(shí)際工程經(jīng)驗(yàn)，目前大多數(shù)已建成的電子廠房中，潔凈室的空調(diào)系統(tǒng)一般都會(huì)使用常規(guī)凈化空調(diào)方式---新風(fēng)機(jī)組+混風(fēng)機(jī)組+高效過(guò)濾器（HEPA），而另一種凈化空調(diào)方式---新風(fēng)機(jī)組+干盤(pán)管+FFU（FFU為英文縮寫(xiě)，全稱(chēng)為FanFilter Unit, 中文意思為風(fēng)機(jī)過(guò)濾器單元）比較少見(jiàn)，原因有：（1）常規(guī)凈化方式一直沿用，不愿更新改變；（2）部分企業(yè)認(rèn)為新風(fēng)機(jī)組+干盤(pán)管+FFU方式的潔凈空調(diào)系統(tǒng)是用于高潔凈度(≥100級(jí))要求的項(xiàng)目中，擔(dān)心用于1000級(jí)—10000級(jí)項(xiàng)目時(shí)造價(jià)會(huì)偏高。為此，本文著重從兩種空調(diào)方式的特點(diǎn)及能耗方面進(jìn)行分析探討，說(shuō)明新風(fēng)機(jī)組+干盤(pán)管+FFU方式的潔凈空調(diào)系統(tǒng)在電子廠房是確實(shí)可行的，并總結(jié)此凈化空調(diào)方式在設(shè)計(jì)過(guò)程中需要注意的一些問(wèn)題。

電子無(wú)塵車(chē)間SMT風(fēng)淋室的使用以及維護(hù)保養(yǎng)方法
SMT車(chē)間風(fēng)淋室
一、面板示意圖及操作說(shuō)明：
風(fēng)淋面板示意圖及操作說(shuō)明
急停按鍵：任何時(shí)候按下急停按鍵，藍(lán)背光液晶屏急停圖形閃動(dòng)，再次按下時(shí)，系統(tǒng)恢復(fù)到初始狀態(tài)。此按鍵主要用于內(nèi)外門(mén)不能解鎖時(shí)使用。
風(fēng)淋按鍵：即手動(dòng)開(kāi)關(guān)風(fēng)淋
照明按鍵：即手動(dòng)開(kāi)關(guān)照明
上、下調(diào)按鍵：在風(fēng)淋開(kāi)始前或結(jié)束后，通過(guò)上、下調(diào)鍵調(diào)節(jié)風(fēng)淋延時(shí)時(shí)間。
二、正確使用流程
1，進(jìn)入SMT風(fēng)淋室-潔凈區(qū)流程：
1.進(jìn)入潔凈無(wú)塵室的人員應(yīng)在外更衣室穿戴凈化無(wú)塵衣、帽、鞋和口罩；開(kāi)門(mén)前確認(rèn)綠燈亮起.
2.打開(kāi)風(fēng)淋室前門(mén)進(jìn)入風(fēng)淋室進(jìn)行吹淋除塵（必須是風(fēng)淋室內(nèi)無(wú)人的情況下）.
3.關(guān)閉風(fēng)淋門(mén)，紅外線人體熱能感應(yīng)器感應(yīng)到人體后風(fēng)淋系統(tǒng)自動(dòng)啟動(dòng)進(jìn)行吹淋.
4.吹淋過(guò)程將身體盡可能地站立在位置并轉(zhuǎn)動(dòng)360°.
5.吹淋結(jié)束后應(yīng)從后門(mén)（即無(wú)塵室內(nèi)門(mén)）進(jìn)入無(wú)塵室.
進(jìn)入SMT風(fēng)淋室潔凈區(qū)流程1
進(jìn)入SMT風(fēng)淋室潔凈區(qū)流程2
進(jìn)入SMT風(fēng)淋室潔凈區(qū)流程3
2,離開(kāi)潔凈區(qū)：
1.先確保綠燈亮起，打開(kāi)內(nèi)門(mén)
2.外門(mén)電鎖自鎖.
3.待內(nèi)門(mén)完全關(guān)閉后.
4.打開(kāi)外門(mén)，離開(kāi)潔凈區(qū)
離開(kāi)潔凈區(qū)流程1
離開(kāi)潔凈區(qū)流程2
三、注意事項(xiàng)
1,未經(jīng)設(shè)備科許可，任何人不要修改參數(shù)；
2,非緊急情況下，任何人不要隨意觸摸控制器按鍵；
3,當(dāng)控制系統(tǒng)出現(xiàn)故障時(shí)，可以按下急停按鈕，解除故障，并及時(shí)報(bào)設(shè)備科維修。
4,綠燈亮起可以通行；紅燈亮起禁止打開(kāi)！
一、全自動(dòng)風(fēng)淋室簡(jiǎn)易操作說(shuō)明
二、智能型風(fēng)/貨淋室的詳細(xì)使用說(shuō)明
2.1接通380V，50 Hz電源（L1、L2、L3-火線，N-零線，E-接地線），打開(kāi)工作、
照明開(kāi)關(guān)，確認(rèn)風(fēng)機(jī)與照明工作正常，此時(shí)，風(fēng)/貨淋室處于初始狀態(tài)，人員可以進(jìn)行正常操作.
注意：必須接地
2.2進(jìn)門(mén)程序：
2.2.1 進(jìn)入潔凈區(qū)的人員打開(kāi)外門(mén)時(shí)，內(nèi)門(mén)電鎖自動(dòng)上鎖以防風(fēng)淋室內(nèi)未凈化空氣流入潔凈區(qū),風(fēng)淋室照明燈點(diǎn)亮.
2.2.2 進(jìn)入風(fēng)淋室關(guān)上外門(mén)后，語(yǔ)音提示：“你好，請(qǐng)站在感應(yīng)區(qū)內(nèi)”。系統(tǒng)紅外探頭開(kāi)始檢測(cè)是否有人，如檢測(cè)到有人, 系統(tǒng)即轉(zhuǎn)入風(fēng)淋過(guò)程.
2.2.3 風(fēng)淋前內(nèi)外門(mén)上鎖，風(fēng)機(jī)高速開(kāi)始風(fēng)淋, 同時(shí)，風(fēng)淋倒計(jì)時(shí)開(kāi)始計(jì)時(shí)。語(yǔ)音提示：“正在工作,請(qǐng)轉(zhuǎn)動(dòng)身體360度” .
2.2.4 如系統(tǒng)在外門(mén)關(guān)后規(guī)定時(shí)間內(nèi)檢測(cè)不到風(fēng)淋室有人，系統(tǒng)內(nèi)外門(mén)自動(dòng)解鎖，返回待機(jī)狀態(tài)，紅外將繼續(xù)檢測(cè)，如檢測(cè)到有人，內(nèi)外門(mén)會(huì)上鎖，風(fēng)淋室開(kāi)始風(fēng)淋.
2.2.5 風(fēng)淋過(guò)程中，有人按動(dòng)上調(diào)、下調(diào)、及照明開(kāi)關(guān)時(shí)，語(yǔ)音將提示：“正在工作， 請(qǐng)不要隨便觸摸開(kāi)關(guān)” .
2.2.6 風(fēng)淋過(guò)程中，有人按急停開(kāi)關(guān)時(shí)將結(jié)束風(fēng)淋。再次按急停鍵可取消急停狀態(tài).
2.2.7 風(fēng)淋結(jié)束后，內(nèi)門(mén)解鎖，語(yǔ)音提示：“吹淋完畢，請(qǐng)從后門(mén)退出” .
2.2.8 人員走出風(fēng)淋室并關(guān)上內(nèi)門(mén)后，低風(fēng)速開(kāi)始風(fēng)淋，10秒后停止風(fēng)淋，恢復(fù)原始狀態(tài)，等待下一次使用.
2.2.9 如風(fēng)淋完成，內(nèi)門(mén)解鎖后。里面的人員在規(guī)定時(shí)間沒(méi)有離開(kāi)風(fēng)淋室，系統(tǒng)默認(rèn)人可能已離開(kāi)，自動(dòng)返回待機(jī)狀態(tài).
2.2.10 照明燈點(diǎn)亮后，規(guī)定時(shí)間內(nèi)沒(méi)有被再次觸發(fā)，則自動(dòng)熄滅.
2.3出門(mén)程序：
2.3.1 打開(kāi)內(nèi)門(mén)，外門(mén)電鎖自鎖，風(fēng)淋室照明燈點(diǎn)亮，
2.3.2 人走進(jìn)風(fēng)淋室，關(guān)上內(nèi)門(mén)，系統(tǒng)開(kāi)始檢測(cè)是否有人在風(fēng)淋室，如規(guī)定時(shí)間內(nèi)檢 測(cè)無(wú)人，內(nèi)外門(mén)解鎖.
2.3.3 如檢測(cè)到有人，系統(tǒng)待人員打開(kāi)外門(mén)時(shí)，內(nèi)門(mén)上鎖,當(dāng)關(guān)上外門(mén)后，系統(tǒng)返回初始狀態(tài).
2.3.4 如遇特殊情況，人員可以選擇返回潔凈區(qū)，系統(tǒng)待人員打開(kāi)內(nèi)門(mén)，外門(mén)上電自鎖,當(dāng)關(guān)上內(nèi)門(mén)后，系統(tǒng)返回初始狀態(tài).
2.3.5 外門(mén)開(kāi)后，如規(guī)定時(shí)間內(nèi)檢測(cè)不到有人，若此時(shí)先打開(kāi)外門(mén)，系統(tǒng)即轉(zhuǎn)入進(jìn)入潔凈區(qū)流程；若此時(shí)先打開(kāi)內(nèi)門(mén)，系統(tǒng)則轉(zhuǎn)入離開(kāi)潔凈區(qū)流程.
2.3.6 照明燈點(diǎn)亮后，規(guī)定時(shí)間內(nèi)沒(méi)有被再次觸發(fā)，則自動(dòng)熄滅.
三：風(fēng)淋室控制面板各個(gè)按鍵的使用
3.1風(fēng)淋室控制面板按鍵說(shuō)明:
3.2風(fēng)淋室指示燈與數(shù)碼管顯示說(shuō)明：
四：風(fēng)/貨淋室維護(hù)保養(yǎng)
4.1注意事項(xiàng)：
4.1.1 風(fēng)/貨淋室通電后，兩側(cè)門(mén)電子互鎖，一側(cè)門(mén)未完全關(guān)閉時(shí)，嚴(yán)禁強(qiáng)行打開(kāi)另一側(cè)門(mén).
4.1.2 貨淋室處于吹淋狀態(tài)時(shí)，嚴(yán)禁開(kāi)門(mén)（直到吹淋停止）。遇緊急情況，可按急停開(kāi)關(guān)停止吹淋后開(kāi)門(mén).
4.1.3 吹淋結(jié)束后，嚴(yán)禁強(qiáng)行打開(kāi)前門(mén).
4.1.4 風(fēng)/貨淋室由專(zhuān)人進(jìn)行操作，吹淋?chē)娮旖?jīng)定位后，非操作人員勿輕易移位.
4.1.5 安裝使用時(shí)，頂端泄壓閥一定不能密封.
4.2維護(hù)保養(yǎng)：
4.2.1經(jīng)常擦拭風(fēng)/貨淋室，保持內(nèi)部清潔.
4.2.2建議初效過(guò)濾器每一個(gè)月更換一次，視實(shí)際使用情況可適當(dāng)延長(zhǎng)或縮短更換周期.
說(shuō)明：更換初效，首先請(qǐng)取下風(fēng)淋室內(nèi)下部的吸風(fēng)口面板，將初效過(guò)濾器從框中拉出，更換濾材. 使用的工具是5吋的十字螺絲刀.
4.2.3當(dāng)吹淋風(fēng)速明顯降低時(shí)，需要更換高效過(guò)濾器.
說(shuō)明：換高效過(guò)濾器時(shí)請(qǐng)卸下風(fēng)淋室內(nèi)的噴嘴面板，再卸下高效壓條，更換高效過(guò)濾器。噴嘴面板采用5吋的十字螺絲刀；裝卸高效壓條采用14吋的開(kāi)口扳手 .
注意：高效過(guò)濾的材料易于受損，請(qǐng)加倍注意
五：常見(jiàn)故障及處理
5.1設(shè)備出現(xiàn)異常，請(qǐng)按下表進(jìn)行自查，若不能排除故障，請(qǐng)及時(shí)與生產(chǎn)廠家售后服務(wù)部聯(lián)系維修.
警告：檢查及更換部件時(shí)切斷斷路器及電源開(kāi)關(guān)
5.2常見(jiàn)故障原因及處理
故障
現(xiàn)象
故障原因
處理方法
風(fēng)速低
1、三相電源相序不正確
重新調(diào)整三相電源相序
2、高效過(guò)濾器使用時(shí)間太長(zhǎng)，造成高效堵塞
更換高效過(guò)濾器
3、初效過(guò)濾器使用時(shí)間太長(zhǎng)，造成初效堵塞
更換初效過(guò)濾器
風(fēng)機(jī)不轉(zhuǎn)
1、進(jìn)線空氣開(kāi)關(guān)跳閘
檢查有無(wú)短路現(xiàn)象或漏電現(xiàn)象
2、配電箱內(nèi)電氣組件損壞
更換損壞的電氣組件
3、風(fēng)機(jī)缺相燒毀
更換風(fēng)機(jī)
4、風(fēng)機(jī)工作時(shí)間太長(zhǎng)燒毀
更換風(fēng)機(jī)
5、保險(xiǎn)絲熔斷
更換保險(xiǎn)絲
風(fēng)機(jī)不停
1、中間繼電器損壞
更換中間繼電器
照明不亮
1、日光燈老化
更換日光燈
2、整流器燒壞
檢查電壓，更換整流器

電子無(wú)塵凈化車(chē)間潔凈空調(diào)設(shè)計(jì)方案參考
凈化方案一：
組合式空氣處理機(jī)組+冷水機(jī)組+高效送風(fēng)口
這是一個(gè)傳統(tǒng)的凈化空調(diào)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)方案。組合式空氣處理機(jī)組里含有各種功能段，如混合段、初效過(guò)濾段、表冷段、二次回風(fēng)段(或中間段)加熱段、加濕段、中效過(guò)濾段、風(fēng)機(jī)段等。其冷源由冷水機(jī)組提供。
方案特點(diǎn)：
A.建議新風(fēng)經(jīng)過(guò)集中處理后再與回風(fēng)混合，這樣可以減少表冷段的冷處理負(fù)擔(dān); B.這類(lèi)方案一般可以適用潔凈度較高的如百級(jí)、千級(jí)或萬(wàn)級(jí)、十萬(wàn)級(jí)等較低的凈化無(wú)塵廠房。
凈化方案二：
水冷柜機(jī)+增壓風(fēng)柜+高效送風(fēng)口
與前種方案比較，這是相對(duì)比較簡(jiǎn)單的空調(diào)方案。它可以大大地縮小機(jī)房的面積，水冷柜機(jī)可以根據(jù)具體的情況布置于較小機(jī)房?jī)?nèi)或凈化車(chē)間內(nèi),增壓風(fēng)柜也可以布置于機(jī)房?jī)?nèi)或吊在機(jī)房?jī)?nèi)或在夾層內(nèi)。
方案特點(diǎn)：
A.建議新風(fēng)經(jīng)過(guò)集中處理后再與回風(fēng)混合，這樣可以減少表冷段的冷處理負(fù)擔(dān); B.這類(lèi)方案一般可以適用潔凈度較高的如百級(jí)、千級(jí)或萬(wàn)級(jí)、十萬(wàn)級(jí)等較低的凈化無(wú)塵廠房。
凈化方案三：
分體空調(diào)柜機(jī)+FFU送風(fēng)口
這是簡(jiǎn)易的一個(gè)空調(diào)方案。是直接將分體空調(diào)柜機(jī)布置于車(chē)間內(nèi)，并用彩鋼圍護(hù)起來(lái)，在柜機(jī)回風(fēng)口處再在彩鋼板上開(kāi)回風(fēng)口(帶初效過(guò)濾網(wǎng));佰倫風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元FFU均勻布置于吊頂天花。這個(gè)方案適用于對(duì)室內(nèi)溫濕度精度要求不高的無(wú)塵車(chē)間。
方案特點(diǎn)：
A、無(wú)塵車(chē)間的潔凈度：LCD制屏的簡(jiǎn)略流程為：清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷層散布隔墊物→組合→劃線和切割→LC注入→貼偏振片→制屏終檢。 B、溫濕度要求：溫度一般為24+2℃，相對(duì)濕度為55+5%。 C、新風(fēng)量大 D、送風(fēng)量大
電子無(wú)塵凈化車(chē)間潔凈等級(jí)說(shuō)明
電子無(wú)塵凈化車(chē)間配套設(shè)備材料
電子無(wú)塵凈化車(chē)間設(shè)計(jì)要求
光學(xué)微電子凈化工程亦名無(wú)塵室或清凈室，目前已是半導(dǎo)體、精密制造、液晶制造、光學(xué)制造、線路板制造和生物化學(xué)、醫(yī)藥、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設(shè)施。近幾年來(lái)，由于技術(shù)之創(chuàng)新發(fā)展，對(duì)于產(chǎn)品的高精密度化、細(xì)小型化之需求更為迫切，如超大型積體電路之研究制造，已成為世界各國(guó)在科技發(fā)展上極為重視的項(xiàng)目，而我公司的設(shè)計(jì)理念及施工技術(shù)在行業(yè)中則處于地位。
光學(xué)微電子凈化工程一般包括：
1、 潔凈生產(chǎn)區(qū)
2、 潔凈輔助間（包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等）
3、 管理區(qū)（包括辦公、值班、管理和休息等）
電子凈化工程凈化原理光學(xué)微電子凈化工程結(jié)構(gòu)材料：
1、 凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造，其特點(diǎn)為美觀、剛性強(qiáng)。圓弧墻 角、門(mén)、窗框等一般采用氧化鋁型材制造。
2、 地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或耐磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型。
3、 送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。
4、 高效送風(fēng)口用不銹鋼框架，美觀清潔，沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板，不生銹不粘塵，宜清潔。

電子廠無(wú)塵車(chē)間裝修設(shè)計(jì)方案
一、兩種凈化空調(diào)方式的分析比較
1.1 新風(fēng)機(jī)組+混風(fēng)機(jī)組+高效過(guò)濾器（HEPA）空調(diào)方式介紹
該空調(diào)方式指的是室外新風(fēng)經(jīng)過(guò)新風(fēng)機(jī)組處理后送入混風(fēng)機(jī)組，混風(fēng)機(jī)組把回風(fēng)與新風(fēng)混合并處理至所要求的空氣參數(shù)后直接用風(fēng)管送風(fēng)到各終端高效過(guò)濾器（HEPA）,通常新風(fēng)機(jī)組將新風(fēng)處理到室內(nèi)焓值，不承擔(dān)室內(nèi)負(fù)荷，只承擔(dān)新風(fēng)負(fù)荷，由混風(fēng)機(jī)組承擔(dān)室內(nèi)的濕負(fù)荷和顯熱負(fù)荷，空調(diào)方式示意圖見(jiàn)圖1。
1.2 新風(fēng)機(jī)組+干盤(pán)管+FFU空調(diào)方式介紹
所謂干盤(pán)管，是因?yàn)樵谶@種系統(tǒng)中冷凍盤(pán)管僅承擔(dān)顯熱負(fù)荷，其冷凍水進(jìn)水溫度一般在13℃以上，也就是說(shuō)在室內(nèi)空氣的溫度以上，盤(pán)管一般不可能產(chǎn)生冷凝水,屬于干工況運(yùn)行,所以其叫干盤(pán)管，而13℃的冷凍水常用的制取方法為利用水--水板式換熱器把冷水機(jī)組的7℃/12℃冷凍水轉(zhuǎn)換過(guò)來(lái)。所謂FFU，中文意思為風(fēng)機(jī)過(guò)濾器單元，確切地說(shuō)是一種自帶動(dòng)力、具有高效過(guò)濾功能的模塊化的末端送風(fēng)裝置，許多凈化設(shè)備生產(chǎn)廠家都有FFU的詳細(xì)介紹，這里不再贅述。新風(fēng)機(jī)組+干盤(pán)管+FFU空調(diào)方式指的是室外新風(fēng)經(jīng)過(guò)新風(fēng)機(jī)組處理后送入潔凈室的天花技術(shù)夾層內(nèi)，干盤(pán)管負(fù)責(zé)處理空氣至所要求的參數(shù),然后用FFU來(lái)循環(huán)空氣從而達(dá)到潔凈度要求的換氣量,通常新風(fēng)機(jī)組將新風(fēng)處理到室內(nèi)溫度，承擔(dān)新風(fēng)負(fù)荷及室內(nèi)濕負(fù)荷，干盤(pán)管承擔(dān)室內(nèi)的顯熱負(fù)荷,FFU負(fù)荷循環(huán)及過(guò)濾空氣。即濕度由新風(fēng)機(jī)組負(fù)責(zé),溫度由干盤(pán)管負(fù)責(zé),潔凈度由FFU負(fù)責(zé)，空調(diào)方式示意圖見(jiàn)圖2。
1.3 兩種凈化空調(diào)方式的初投資比較
部分企業(yè)認(rèn)為新風(fēng)機(jī)組+干盤(pán)管+FFU凈化方式比常規(guī)凈化空調(diào)方式的初投資要高，現(xiàn)比較如下：
（1）由于干盤(pán)管與FFU制造技術(shù)的發(fā)展與普及，生產(chǎn)廠家的飛速增長(zhǎng)，促使它們的價(jià)格相比前些年已經(jīng)大幅度下降，品牌選擇也開(kāi)闊得多，不僅有外國(guó)進(jìn)口的產(chǎn)品，而且國(guó)內(nèi)眾多廠家的新產(chǎn)品也均可以選擇；
（2）新風(fēng)機(jī)組+干盤(pán)管+FFU凈化方式相比于常規(guī)凈化方式，其空調(diào)風(fēng)柜僅為規(guī)格很小的新風(fēng)機(jī)組，不含混風(fēng)機(jī)組，所以空調(diào)風(fēng)柜房的面積可以相應(yīng)縮小，節(jié)省了建筑空間，而且新風(fēng)管占用潔凈室吊頂空間較少，節(jié)省了吊頂空間；
（3）相比于常規(guī)凈化方式，新風(fēng)機(jī)組+干盤(pán)管+FFU凈化方式由于使用天花板技術(shù)夾層，所以其在圍護(hù)結(jié)構(gòu)方面的價(jià)格會(huì)稍高；
（4）相比于常規(guī)凈化方式，新風(fēng)機(jī)組+干盤(pán)管+FFU凈化方式由于整體用電功率較少，所以其在空調(diào)配電方面用到的電線電纜型號(hào)較小，開(kāi)關(guān)及變頻器等也可縮小型號(hào),造價(jià)下降；
（5）新風(fēng)機(jī)組+干盤(pán)管+FFU的凈化方式所需要的風(fēng)管量是很少的，僅為新風(fēng)機(jī)組的新風(fēng)管，而常規(guī)的凈化方式中需要的風(fēng)管量就很多，它包括新風(fēng)機(jī)組的送風(fēng)管、混風(fēng)機(jī)組的送風(fēng)管及回風(fēng)管(都是大規(guī)格的風(fēng)管)?？傮w來(lái)說(shuō)，新風(fēng)機(jī)組+干盤(pán)管+FFU的凈化方式的初投資與常規(guī)凈化方式的初投資基本持平。
1.4 兩種凈化空調(diào)方式的運(yùn)行能耗比較
運(yùn)行能耗的比較主要體現(xiàn)在用電量方面，其中新風(fēng)機(jī)組+干盤(pán)管+FFU凈化方式的用電量主要包括：新風(fēng)機(jī)組，F(xiàn)FU，干盤(pán)管水泵三個(gè)方面。而常規(guī)凈化方式中用電量主要包括：新風(fēng)機(jī)組，混風(fēng)機(jī)組?？梢钥闯?，兩個(gè)系統(tǒng)的比較就在于FFU+ 干盤(pán)管水泵與混風(fēng)機(jī)組之間，可以很明顯地看出混風(fēng)機(jī)組的用電量會(huì)高出很多，因?yàn)閱蝹€(gè)FFU的功率在0.2kw左右，而干盤(pán)管水泵是一個(gè)小水泵，功率也不會(huì)大，兩種設(shè)備加起來(lái)的用電量不多。而常規(guī)凈化方式的混風(fēng)機(jī)組由于需處理整個(gè)系統(tǒng)的循環(huán)風(fēng)量，還要負(fù)擔(dān)末端高效過(guò)濾器的阻力，送回風(fēng)管的阻力，其功率動(dòng)輒就會(huì)有幾十千瓦，所以常規(guī)凈化方式的運(yùn)行費(fèi)用是大大高于新風(fēng)機(jī)組+干盤(pán)管+FFU凈化方式的。一般認(rèn)為新風(fēng)機(jī)組+干盤(pán)管+FFU凈化方式的運(yùn)行費(fèi)用大約是常規(guī)凈化方式的60%---80%.
1.5 兩種凈化空調(diào)方式的比較匯總表
二、新風(fēng)機(jī)組+干盤(pán)管+FFU凈化空調(diào)方式的現(xiàn)實(shí)可行性
從上述的比較中我們可以看出：新風(fēng)機(jī)組+干盤(pán)管+FFU 凈化空調(diào)方式的初投資并不一定比新風(fēng)機(jī)組+混風(fēng)機(jī)組+高效過(guò)濾器這種常規(guī)的凈化空調(diào)方式的初投資高，如果設(shè)計(jì)合理，初投資往往與常規(guī)凈化方式基本持平,但是再考慮電子廠房中凈化空調(diào)系統(tǒng)所占的用電量是很大的，一個(gè)凈化空調(diào)方式選擇的著重點(diǎn)應(yīng)該放在運(yùn)行能耗處，而且潔凈室的使用班數(shù)基本上地連續(xù)班數(shù)的，凈化空調(diào)設(shè)備均是長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行，于是選擇能耗低的凈化方式是現(xiàn)實(shí)可行的，往往一個(gè)低能耗的凈化方式在兩到三年內(nèi)就可以把初投資所高出的那一部份完全節(jié)省回來(lái)。所以, 新風(fēng)機(jī)組+干盤(pán)管+FFU 這種凈化空調(diào)方式是值得推廣與實(shí)行的。
三、新風(fēng)機(jī)組+干盤(pán)管+FFU凈化空調(diào)方式在設(shè)計(jì)過(guò)程中需要注意的一些問(wèn)題
新風(fēng)機(jī)組+干盤(pán)管+FFU凈化空調(diào)方式跟常規(guī)方式的設(shè)計(jì)基本相同，無(wú)論是室內(nèi)負(fù)荷的計(jì)算，凈化循環(huán)風(fēng)量的選擇，正壓風(fēng)量的選擇，加濕量的選擇都是大同小異，也有很多學(xué)術(shù)論文在這方面的設(shè)計(jì)有詳細(xì)介紹，筆者在這里著重提一下需特別注意的一些問(wèn)題：
（1）新風(fēng)機(jī)組處理的新風(fēng)焓差較大，處理后空氣的溫度也較低,在通常的冷水溫度下運(yùn)行，需要增加盤(pán)管的排數(shù)來(lái)增大換熱面積，因此，新風(fēng)機(jī)組盤(pán)管的排管數(shù)比常規(guī)方式的盤(pán)管排管數(shù)要多，而且處理后空氣溫度較低，所以新風(fēng)機(jī)組的箱體保溫厚度以及新風(fēng)管的保溫層厚度比常規(guī)方式的厚度要厚；
（2）干盤(pán)管干工況運(yùn)行時(shí)進(jìn)水溫度是需根據(jù)室內(nèi)空氣的溫度而確定的，并不是一個(gè)定值，需要按照潔凈室的實(shí)際溫濕度要求情況確定的，而且在不同工況下，干盤(pán)管的冷量是變化的，但目前大多數(shù)盤(pán)管生產(chǎn)廠家的產(chǎn)品說(shuō)明書(shū)中僅僅提及標(biāo)準(zhǔn)工況下的冷量，而干盤(pán)管是處在非標(biāo)準(zhǔn)工況下運(yùn)行的，所以要特別注意干盤(pán)管的冷量取值，可以通過(guò)相關(guān)論文的介紹方法來(lái)計(jì)算所得，或者由盤(pán)管生產(chǎn)廠家來(lái)提供非標(biāo)準(zhǔn)工況下的冷量值；
（3）使用此凈化空調(diào)方式，如果凈化區(qū)域中局部房間的溫濕度條件不同或者局部房間內(nèi)的工藝設(shè)備發(fā)熱量不同，則必須對(duì)該局部房間進(jìn)行單獨(dú)隔斷，再設(shè)置一套獨(dú)立的空調(diào)系統(tǒng)進(jìn)行獨(dú)立的溫濕度控制，這樣設(shè)置有助于溫濕度精度的控制及運(yùn)行時(shí)能源的節(jié)約；
（4）按照設(shè)計(jì)理論來(lái)說(shuō)，干盤(pán)管是在干工況下運(yùn)行的，是不會(huì)有冷凝水的，但是一個(gè)凈化房間在剛開(kāi)空調(diào)機(jī)的時(shí)候，干盤(pán)管在進(jìn)入正常干工況之前的那一段時(shí)間內(nèi)是在濕工況下運(yùn)行的，即使凝結(jié)水量很少，還是建議要設(shè)置凝結(jié)水盤(pán)及排水管，保證不滴水漏水，而且如果干盤(pán)管需要清洗或者排空,也有排水設(shè)施可用，設(shè)置凝結(jié)水盤(pán)及排水管的費(fèi)用也不高，所以盡量考慮設(shè)置凝結(jié)水盤(pán)及排水管；
（5）當(dāng)一個(gè)大面積凈化房間采用新風(fēng)機(jī)組+干盤(pán)管+FFU凈化空調(diào)方式時(shí)，F(xiàn)FU的使用量比較多，單獨(dú)逐一來(lái)管理控制是很不方便的，為了管理方便，建議采用FFU群控這種新型的管理技術(shù)，其能夠在電腦上觀察到FFU的運(yùn)行、停止、故障等各種狀態(tài)，也可以在電腦上進(jìn)行開(kāi)停、調(diào)速等控制，可以極大的減少對(duì)FFU的管理工作量。
四、結(jié)語(yǔ)
由于電子電路行業(yè)的飛速發(fā)展，潔凈室的使用將會(huì)越來(lái)越廣泛，而凈化空調(diào)方式的選擇則顯得尤為重要，由于常規(guī)系統(tǒng)（新風(fēng)機(jī)組+混風(fēng)機(jī)組+高效過(guò)濾器）存在著運(yùn)行能耗高、建筑空間要求大、管線交叉多等缺點(diǎn)，我們有理由推薦使用新型凈化空調(diào)方式（新風(fēng)機(jī)組+干盤(pán)管+FFU），其節(jié)能效果是明顯優(yōu)于常規(guī)系統(tǒng)的，建筑空間要求小，管線也不多，并且綜合造價(jià)和成本與常規(guī)系統(tǒng)相差已經(jīng)