無塵車間的溫濕度主要是根據(jù)您的加工工藝要求來確定，在滿足加工工藝的條件下，應(yīng)該考慮人的舒適感。隨著空氣潔凈度要求的提高，工藝對溫濕度的要求也越來越高，必須達到一定的溫濕度等級。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就引起了0。

對C/R而言，其選擇地板的材料也是很重要的。低廉的C/R地板覆蓋著一層乙烯基在薄板上，若太硬的地板覆蓋會引起塵埃，而太軟的地板會造成地板彎曲甚致裂，但并不是所有C/R的地板，都會覆蓋，乙烯基。有些地板是沖孔式、格子式，而多面層流都是沖孔式。乙烯基有一作用即脫氧，但高濃度乙烯基與其它物若混合的話將會有減低脫氧的效果，而無塵室的墻若以鋁作為材料則將會非常昂貴，但鋁卻可以保護墻面不被空氣所氧化，可是卻易受酸性氣體的侵蝕，而避免的方法是使用電鍍，便鋁表面增厚，不易氧化，再在鋁表面上再涂上一層亮光漆即可防止金屬氧化。

電子潔凈廠的設(shè)計必須符合相關(guān)的工藝標準，當然，在實際的設(shè)計過程中，它們的要求也是不同的。層流手術(shù)室手術(shù)室是采用空氣潔凈技術(shù)對微生物污染采取程度不同的控制，達到控制空間環(huán)境中空氣潔凈度適于各類手術(shù)之要求；并提供適宜的溫、濕度，創(chuàng)造一個潔凈舒適的手術(shù)空間環(huán)境。由于手術(shù)室要嚴格控制低細菌數(shù)及低嘛醉氣體濃度，所以層流超凈裝置的穩(wěn)定性是層流凈化手術(shù)室的重要驗收指標。