冷凝泵是利用低溫表面冷凝氣體的真空泵，又稱冷凝泵。冷凝泵是獲得清潔真空的極限壓力、抽氣速率真空泵，廣泛應用于半導體和集成電路的研究和生產(chǎn)，以及分子束研究、真空鍍膜設備、真空表面分析儀器、離子注入機和空間模擬裝置等方面。因其潔凈無污染、效率高、抽速大、高可靠性等突出優(yōu)勢，被廣泛的應用于科學研究實驗室、乃至工業(yè)生產(chǎn)等眾多領(lǐng)域，如半導體材料制作、平板顯示器生產(chǎn)/測試設備、太陽能制造業(yè)、真空鍍膜、熱真空系統(tǒng)等。


冷凝泵支承部分支承部分主要件有托架、前后鈾承壓蓋和鈾組合定位在托架上的前后徑向滾珠鈾承上，滾球鈾承亦承受未被平衡的鈾向力。用稀油潤滑，油量可從油標看出。前后鈾承壓蓋均裝有毛氈密封圈做為鈾封以防漏油。管堵處的孔用來灌油。清洗換油時從絲孔將油放出。密封和傳動泵采用軟填料密封，在鈾封處裝有可更換的鈾套。泵通過彈性聯(lián)鈾器由電動機驅(qū)動，從傳動方向看，泵為逆時針方向旋轉(zhuǎn)。

低溫泵的熱負載主要是氣體的凝結(jié)熱和周圍壁面對工作冷板的輻射熱。凝結(jié)熱與氣體種類有關(guān)，對于 80K、133.322帕·升的氮氣冷凝在20K冷板上的凝結(jié)熱為0.3～0.6焦耳。工作冷板接受的輻射熱與周圍壁面板溫度和工作冷板溫度兩者的4次方之差成正比。因此，4.2K和20K工作冷板均用50～100K的冷板來屏蔽，以減少工作冷板所接受的輻射熱。